





|
Κύρια μονάδα κενού πλάσματος (100) |
||
|
Μέγεθος εξοπλισμού |
M 1000×Π 900×Υ 1750mm |
|
|
βάρος |
500χλμ |
|
|
Απαιτούμενη παροχή ενέργειας |
AC380V, 50/60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικά ανοιχτού τύπου πάνω από C) |
|
|
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||
|
δύναμη |
ραδιοσυχνότητα |
μεσαία συχνότητα |
|
0~600W |
0-1000W |
|
|
συχνότητα εφοδιασμού |
13,56 MHZ |
40 K Hz |
|
Σύστημα κενού |
||
|
αντλία κενού |
Ροταρία μεταφορική βάλευσης (ελαιοπομπή): 60 m3/ωρ |
|
|
δικτύο κενού |
Όλη γραμμή από ανθρακικό χάλυβα, καθώς και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδές |
|
|
ποιότητα υλικού |
alufer |
|
|
πάχος |
25mm |
|
|
σφράγιση |
Σφραγίδα συνδεσμού στρατιωτικού επιπέδου |
|
|
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας |
450*450*500mm (πλάτος * ύψος * βάθος) |
|
|
Αποτελεσματική μέγεθος ηλεκτρικής πλάκας |
322*351mm (πλάτος * βάθος) |
|
|
Διαθέσιμος χώρος απόστασης |
20mm |
|
|
Διάταξη ηλεκτρικής πλάκας |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|
|
δίσκοι |
Κανονικό σύνολο, υλικό προαιρετικό (άλουμινο, χάλκινο πλέγμα) |
|
|
χώρος εργασίας |
8 στρώματα |
|
|
αέρας διεργασίας |
||
|
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|
|
Δρομός αερίου προϊόντος |
Κανονικά με δύο τρόπους, μπορεί να παρατάξει. Ο δρομός αερίου προϊόντος κατασκευάζεται από φεροφλόν |
|
|
navar |
||
|
SC |
ΠΛΚ |
|
|
διαδραστικός λάθος |
οθόνη Ημιχειριστικής 7 ίντσες |
|







Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος