Σύστημα Ετσιμών Πλάσματος Με Αναπόσπαστη Σύνδεση (ICP) Εξοπλισμός Ημιαγωγών , China Σύστημα Ετσιμών Πλάσματος Με Αναπόσπαστη Σύνδεση (ICP) Εξοπλισμός Ημιαγωγών Manufacturers, Suppliers, Factory

Περιγραφή Προϊόντος

Σύστημα έτσιμα πλάσματος με ενδοφορική σύνδεση (icp)

Η τεχνολογία διάβρωσης ιόντων με επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα είναι ένας τύπος RIE. Αυτή η τεχνολογία επιτυγχάνει αποσύζευξη της πυκνότητας ιόντων πλάσματος και της ενέργειας ιόντων χάρη στον ανεξάρτητο έλεγχο της ροής ιόντων, με αποτέλεσμα βελτίωση της ακρίβειας και ευελιξίας της διαδικασίας διάβρωσης.

Τα προϊόντα της σειράς υψηλής πυκνότητας επαγωγικά συζευγμένης ενεργοποιημένης ιοντικής επίστρωσης (ICP-RIE) βασίζονται στην τεχνολογία επαγωγικά συζευγμένου πλάσματος και στοχεύουν σε εφαρμογές λεπτής επίστρωσης και επίστρωσης ημιαγωγών σύνθετων υλικών. Διαθέτει εξαιρετική σταθερότητα διεργασίας και επαναληψιμότητα διεργασίας και είναι κατάλληλο για εφαρμογές σε ημιαγωγούς πυριτίου, οπτοηλεκτρονική, πληροφορική και επικοινωνίες, ηλεκτρονικά ισχύος και μικροκυματικές διατάξεις.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Εφαρμόσιμα υλικά:

1. Υλικά βασισμένα σε πυρίτιο: πυρίτιο (Si), διοξείδιο του πυριτίου (SiO2), νιτρίδιο του πυριτίου (SiNx), καρβίδιο του πυριτίου (SiC)...

2. Υλικά III-V: φωσφίδιο του ινδίου (InP), αρσενίδιο του γαλλίου (GaAs), νιτρίδιο του γαλλίου (GaN)...

3. Υλικά II-VI: τελλουρίδιο του καδμίου (CdTe)...

4. Μαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώματος

5. Μεταλλικά υλικά: αργίλιο (Al), χρυσός (Au), βολφράμιο (W), τιτάνιο (Ti), ταντάλιο (Ta)...

6. Οργανικά υλικά: φωτοαντίσταση (PR), οργανικός πολυμερής (PMMA/HDMS), οργανική λεπτή μεμβράνη...

7. Υλικά φεροηλεκτρικά/φωτοηλεκτρικά: νιοβικό οξύ λιθίου (LiNbO3)...

8. Διηλεκτρικά υλικά: σαπφείριο (Al2O3), χαλαζίας...

Σχετικές εφαρμογές:

1. Χάραξη πλέγματος: χρησιμοποιείται για τρισδιάστατη οθόνη, μικρο-οπτικές συσκευές, ηλεκτρονικά οπτικά κ.λπ.

2. Χάραξη σύνθετων ημιαγωγών: χρησιμοποιείται για LED, laser, οπτικές επικοινωνίες κ.λπ.

3. Διαμορφωμένο υπόστρωμα σαπφείρου (PSS)

4. Χάραξη νιτρικής λιθίου (LiNO3): ανιχνευτές, ηλεκτρονικά οπτικά

Αποτέλεσμα διαδικασίας

Κρυστάλλινο / άνθρακας / έτσιμα φραγμών

Χρησιμοποιώντας BR φραγμό για το έτσιμα κρυστάλλινων ή άνθρακα υλικών, το πρότυπο φραγμού φραγμών έχει τις λεπτότερες γραμμές μέχρι 300nm και το κάθετο βάθος του προτύπου είναι κοντά > 89° , που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για 3D εμφάνιση, μικρο-οπτικά συσκευάσματα, φωτοηλεκτρική επικοινωνία, κλπ

Έτσιμα συνθετικών / ημιαγωγών

Η ακριβής ελεγχόμενη θερμοκρασία της επιφάνειας δειγματοσυγκεντρωτή μπορεί να ελέγξει καλά τη μορφολογία ενδονόμησης των υλικών με βάση GaN, GaAs, InP και μετάλλινων. Είναι κατάλληλο για συσκευές μπλου LED, λέιζερ,οπτική επικοινωνία και άλλες εφαρμογές.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Εξαγωγή βασικού υλικού σιλικίου

είναι κατάλληλο για την ενδονόμηση υλικών με βάση κρύσταλλο όπως Si, SiO2 και SiNx. Μπορεί να πραγματοποιήσει ενδονόμηση γραμμής κρύσταλλου μεγαλύτερη από 50nm και βαθιά ενδονόμηση τρυπιών κρύσταλλου κάτω από 100μm.

Περιγραφή

Διάγραμμα διαμόρφωσης έργου και δομής μηχανήματος

Αντικείμενο	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Μέγεθος Προϊόντος	≤6 ευσταθών	≤8 ευσταθών	≤6 ευσταθών	≤8 ευσταθών	Περιστομένο ≥12 ευστραφών
Ηλεκτρική πηγή SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000W Προσαρμόσιμος, αυτόματη σύμπτωση\, 13.56MHz/27MHz
Ηλεκτρική πηγή BRF	0~300W/0~500W/0~1000W Προσαρμόσιμος, αυτόματη σύμπτωση, 2MHz/13.56MHz
Μοριακός Κύλινδρος	Χωρίς διάβρωση: 600/1300 (L/s) / Περιστομένο			Κατά διάβρωση: 600/1300 (L/s) / Περιστομένο		600/1300 (L/s) / Περιστομένο
Συμπυκνωτική μετάβαση	Μηχανική μπομπά / ξερή μπομπά			Αντιφθορική ξερή μπομπά		Μηχανική μπομπά / ξερή μπομπά
Μπομπά προ-εξέλιξης	Μηχανική μπομπά / ξερή μπομπά			Μηχανική μπομπά / ξερή μπομπά
Πίεση προϊόντος	Ανελεγχάς πίεση/0-0.1/1/10Torr ελεγχόμενη πίεση
Τύπος αερίου	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Προσαρμογή (Έως 12 κανάλια, χωρίς φθορικά & δηλητηριώδη αέρια)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Προσαρμογή (Έως 12 κανάλια)
Περιοχή αερίου	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Προσαρμογή
ΦόρτωσηΚλείδωμα	Ναι/Όχι			Ναι
Δειγματική ελέγχου θερμοκρασίας	10°C~Θερμοκρασία Δωματίου/-30°C~150°C/Προσαρμογή			-30°C~200°C/Προσαρμογή
Υποστήριξη ψύξης με λιθium	Ναι/Όχι			Ναι
Ενδιάμεση στέγαση καβούρντα	Ναι/Όχι			Ναι
Έλεγχος θερμοκρασίας του τοιχώματος	Όχι/Θερμοκρασία Δωματίου-60/120°C			Θερμοκρασία Δωματίου~60/120°C
Σύστημα Ελέγχου	Αυτόματο/Προσαρμογή
Υλικό εκτύπωσης	Βάση Σιλίκιου: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Οργανικά υλικά: PR/Οργανικό ταινία......			Βάση Σιλίκιου: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Φερροτικό υλικό / υλικό αλλοιώματος Μεταλλικά υλικά: Ni/ Cr/ Al/ Cu/ Au... Οργανικά υλικά: PR/ Οργανική ταινία...... Βαθιά εξέδρα σε Σιλίκιο

Συσκευασία & Παράδοση

Προφίλ Εταιρείας

Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στην πώληση εξαρτημάτων. Μπορούμε να σας προσφέρουμε επαγγελματική λύση για κατασκευαστική γραμμή εξοπλισμών για τον πρώτο και δεύτερο αλληλεπτρο της βιομηχανίας παραγωγής παραγωγών μεμονωμένων από την Κίνα.

Αρχική Σελίδα

Σχετικά Με Ας

Εξαρτήματα MH

Λύση

Χρήστες Εκτός Από Την Επιχείρηση

Βίντεο

Επικοινωνία Με Ας