Μοντέλο |
MDTS-WT2200 |
Αριθμός αξόνων εκκορυφωτή |
2 |
Αριθμός πάγκων εργασίας |
3, Μέθοδος δείκτη |
Αxon μολύβισμα λαδίδας |
Αριθμός αεριούς αξόνων: 2 Μοτόρας αξόνα: 7.5kW μεταβλητής συχνότητας μοτόρας Ταχύτητα: 0~6000γ.δ., αδιάκοπα ρυθμιζόμενη Κανονική φορμα εξυφαίνουσας τροχιάς: Φ203mm Είδος εξυφαίνουσας τροχιάς: εξυφαίνουσα τροχιά με διαμάντιο |
Σύστημα προμήθειας εξυφαίνουσας τροχιάς |
Ποσότητα: 2 σύνολα Μέθοδος ελέγχου συστήματος προμήθειας: οδηγός LM και βάλαντζα ηλίκων συνδυασμός Μοτώρα κίνησης: διακοπτικός μοτόρας Ελάχιστη ταχύτητα προμήθειας: 0.1um/sec Μέγιστη ταχύτητα προμήθειας: 50mm/sec |
Πάγκος Εργασίας |
Ποσότητα: 3, ρευστός λειτουργικός τρόπος Μοτώρας αxonas: Διακοπτικός μοτόρας Ταχύτητα: 0~300γ.π.μ., συνεχώς ρυθμιζόμενη Μέθοδος επισφράγισης: Κενότατη επισφράγιση |
Ζωντάνιος πινάκας εργασίας |
Τρόπος κίνησης: διακοπτικός μοτόρας Περιοχή περιστροφής: 0~240° Μορφή θέσης: καθορισμός θέσης με βοήθεια αισθητήρα |
Αυτόματη επιβάλλουσα μέτρηση συστήματος |
Μέθοδος μέτρησης: επαφή IPG σε πραγματικό χρόνο online Αριθμός μετρητικών κεφαλίων: 2 Μετρητικός αισθητήρας: αισθητήρας επιπέδου 0.1um |
Αυτόματη φόρτιση/ σύστημα αποφόρτισης |
Τύπος κιβώτιου: 6-8inch Cassette, 25 επίπεδα Μέθοδος αυτόματης φόρτισης/αποφόρτισης: χρήση μανιπουλάτορα για να εξασφαλιστεί ότι τα λεπτά φάρμαγγες μεταφέρονται χωρίς ζημιά Πάχος φαγμένου: 150um-1000um |
Συνάρτηση καθαρισμού εργαστηριακής μείζας |
Μέθοδος καθαρισμού: Πολιρωμός με λίθο & νερό DI + αέριο διπλού ρεύματος |
Αυτόματος καθαρισμός/ σύστημα ξηρασμού |
Καθαρισμός: καθαρισμός στομείου DIW Μέθοδος ξερασμού: Φυσιώνομενος + ξερασμός Ταχύτητα: μέχρι 1000rpm αδιάκοπα ρυθμιζόμενη |
Συστήματα στατικής εξάλειψης |
Ιονικός σταυρός ή ανεμιστήρας orion |
Ψύξη αxonos |
Θερμοκρασία: 18-22°C Ρυθμός ρεύματος: 4~8L/min |
Σύστημα Ελέγχου |
Σύστημα ελέγχου: Σύστημα ελέγχου PC, οθόνη αγγιστική με φωτιά λαμπτήρα 3 χρωμάτων Διεπαφή ανθρώπου-μηχανής στα κινέζικα/αγγλικά |
Μέγιστο μέγεθος πλακίδων |
Συμβατό με μέγιστο 8 δυναμών |
Εύρος ταχύτητας |
0~6000 RPM |
Κίνηση άξονα Z |
160mm |
Ταχύτητα τροφοδοσίας άξονα Z |
0.1~100um/sec |
Ταχύτητα γρήγορης επανάληψης άξονα Z |
50mm/sec |
Λύση άξονα Z |
0.1um |
Περιοχή μέτρησης επιπέδου online |
0~1800μμ |
Αναλυτικότητα μέτρησης επιβάρυνσης online |
0.1um |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
