EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Εισαγωγή: Αυτός ο εξοπλισμός αποτελείται κυρίως από μια κοιλότητα κενού από ανοξείδωτο χάλυβα, ένα στόχο μαγνητρονικής αποθέσεως, μια συσκευή εξάτμισης για επίστρωση, ένα τραπέζι δειγμάτων για την τοποθέτηση των δειγμάτων, μια μονάδα αντλίας κενού, ένα όργανο μέτρησης κενού, ένα σύστημα εισαγωγής αέρα και ένα σύστημα ελέγχου. Η κύρια μονάδα του εξοπλισμού λειτουργεί μέσω οθόνης αφής και παρακολουθείται από θερμοκρασιακό μετρητή. Η ψηφιακή διεπαφή παραμέτρων και η αυτοματοποιημένη λειτουργία παρέχουν στους χρήστες μια εξαιρετική πλατφόρμα έρευνας και ανάπτυξης. Η κοιλότητα κενού υιοθετεί σχεδιασμό με στόχο στον πυθμένα, ενώ το τραπέζι δειγμάτων διαθέτει λειτουργίες θέρμανσης και περιστροφής, πράγμα που καθιστά το αποτέλεσμα της επίστρωσης πιο ομοιόμορφο. Το σύστημα επίτευξης κενού του εξοπλισμού χρησιμοποιεί ομάδα αντλιών κενού δύο βαθμίδων. Η αντλία πρώτης βαθμίδας είναι μια υψηλής ταχύτητας μηχανική αντλία, η οποία μειώνει αποτελεσματικά το χρόνο από την κανονική πίεση στο χαμηλό κενό. Η κύρια αντλία είναι μια τουρμπομοριακή αντλία με υψηλή ταχύτητα αντλίας και ταχύτερη ταχύτητα επίτευξης κενού. Το συνολικό σύστημα επίτευξης κενού είναι καθαρό και γρήγορο.
Εφαρμογή: Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή μονοστρωματικών ή πολυστρωματικών λεπτών φερροηλεκτρικών υμενίων, αγώγιμων υμενίων, υμενίων κραμάτων, ημιαγωγικών υμενίων, κεραμικών υμενίων, διηλεκτρικών υμενίων, οπτικών υμενίων, κ.λπ.
