Εισαγωγή:
Αυτός ο εξοπλισμός είναι ένα όργανο επίστρωσης με δύο στόχους μαγνητρονίου. Αυτή η διάταξη χρησιμοποιεί θάλαμο υψηλού κενού από ανοξείδωτο χάλυβα, σχεδιασμό με πρόσβαση από το μπροστινό μέρος και παράθυρο παρατήρησης από κρύσταλλο πάνω στην πόρτα, για να διευκολύνει την παρατήρηση και την καταγραφή των πειραμάτων. Ταυτόχρονα, ο εξοπλισμός είναι εφοδιασμένος με περιστρεφόμενη θερμαινόμενη πλατφόρμα δειγμάτων, η οποία βελτιώνει αποτελεσματικά την ομοιομορφία και την ποιότητα του φιλμ. Ένα σύνολο διαφραγμάτων είναι εγκατεστημένο στο ανώτερο κάλυμμα, ενώ η περιστροφή των διαφραγμάτων επιτρέπει την εναλλαγή μεταξύ των δύο στόχων για την επίτευξη πολυστρωματικής επίστρωσης. Για τη λειτουργία αυτού του εξοπλισμού απαιτείται ομάδα μοριακών αντλιών υψηλού κενού. Οι χρήστες μπορούν να επιλέξουν μικρές εισαγόμενες μοριακές αντλίες για να εξοικονομήσουν περαιτέρω χώρο εγκατάστασης. Επιπλέον, αυτό το μοντέλο μπορεί να εξοπλιστεί προαιρετικά με συστατικό μετρητή πάχους φιλμ, το οποίο επιτρέπει την πραγματικού χρόνου παρακολούθηση των δεδομένων πάχους φιλμ και παρέχει αξιόπιστες παραμέτρους για τη διαδικασία του πειράματος.
Εφαρμογή:
Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή λεπτών μεταλλικών επιστρώσεων, στον τομέα της ηλεκτρονικής, στον τομέα της οπτικής, σε ειδικά κεραμικά, κ.λπ. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή δειγμάτων για ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης (SEM) σε εργαστηριακό περιβάλλον.