Ακριβές Σύστημα CMP

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Ακριβές Σύστημα CMP

Περιγραφή εξοπλισμού:

Το ακριβές σύστημα CMP χρησιμοποιείται κυρίως για την τριβή και τη λεπταίνση κύριων ημιαγωγικών μικροτσίπ, όπως πυρίτιο, διοξείδιο του πυριτίου και επίπεδα εστιακών συστημάτων αντιμονιούχου ινδίου, καθώς και για τη χημική-μηχανική λείανση της βάσης, της επιφάνειας και της άκρης.

Το σύνολο της μηχανής και όλα τα εξαρτήματά της είναι πλήρως ανθεκτικά στη διάβρωση, ενώ οι παράμετροι της διαδικασίας ρυθμίζονται μέσω της διεπαφής αλληλεπίδρασης με οθόνη αφής.

Μέγεθος δείγματος που μπορεί να επεξεργαστεί:

Μέγεθος δείγματος ≤ 152 mm / 6 ίντσες

Πάχος που μπορεί να επεξεργαστεί: 50 μm έως 10 mm

Επιτεύξιμοι δείκτες διαδικασίας:

1. Η συνολική απόκλιση πάχους (TTV) πλάκας διαμέτρου φ75 mm είναι εντός 2 μm·

2. Η συνολική απόκλιση πάχους (TTV) πλάκας διαμέτρου φ100 mm είναι εντός 3 μm·

3. Η συνολική απόκλιση πάχους (TTV) πλάκας διαμέτρου φ150 mm είναι εντός 4 μm.

Τύποι δειγμάτων που μπορούν να επεξεργαστούν:

Πυρίτιο, καρβίδιο πυριτίου, διαμάντι, κεραμικά, νιτρίδιο γαλλίου, χαλαζίας, αντιμονίδιο γαλλίου, φωσφίδιο ινδίου, αρσενίδιο γαλλίου, τελλουρίδιο καδμίου-ψευδαργύρου, τελλουρίδιο υδραργύρου-καδμίου, νιοβιούχο λίθιο και άλλα ημιαγώγιμα υλικά.

Χαρακτηριστικά εξοπλισμού:

1. Υλοποίηση της λειτουργίας ανίχνευσης σημείου τέλους για τον έλεγχο του πάχους του δείγματος.

2. Συνεχής, πραγματικού χρόνου έλεγχος της θερμοκρασίας και ψύξη της πλάκας λείανσης και πολιρίσματος.

3. Πολυκαναλικό σύστημα τροφοδοσίας.

4. Αυτόματη λειτουργία εκπλύσεως της πλάκας λείανσης και πολιρίσματος.

5. Αυτόματη λειτουργία επισκευής της πλάκας.

6. Το πρισματικό στήριγμα είναι εξοπλισμένο με ψηφιακό πίνακα παρακολούθησης του πάχους με ακρίβεια παρακολούθησης 0,1 μm.

Τεχνικές παράμετροι:

Ρύθμιση Συσκευών:

Συχνές Ερωτήσεις

1. Περί τιμής:

Όλες οι τιμές μας είναι ανταγωνιστικές και διαπραγματεύσιμες. Η τιμή διαφέρει βάσει της συγκεκριμένης ρύθμισης και της πολυπλοκότητας προσαρμογής του συστήματος.

2. Σχετικά με το δείγμα:

Μπορούμε να σας παρέχουμε υπηρεσίες δειγματικής παραγωγής, αλλά ίσως να πρέπει να καταβάλετε μερικά τέλη.

3. Σχετικά με την πληρωμή:

Μετά την επιβεβαίωση του σχεδίου, πρέπει να μας πληρώσετε προπληρωμή, και η εργοστάσιο θα ξεκινήσει να ετοιμάζει τα προϊόντα. Μετά το ολοκλήρωμα της εξοπλισμού και την πληρωμή του υπολοίπου, θα το αποστείλουμε.

4. Σχετικά με την Παράδοση:

Μετά την ολοκλήρωση της κατασκευής του εξοπλισμού, θα σας στείλουμε το βίντεο αποδοχής και μπορείτε επίσης να έρθετε στον χώρο για να ελέγξετε τον εξοπλισμό.

5. Εγκατάσταση και Ρύθμιση:

Όταν ο εξοπλισμός φτάσει στην εργοστάσιό σας, μπορούμε να αποστείλουμε μηχανικούς για να εγκαταστήσουν και να ρυθμίσουν τον εξοπλισμό. Θα σας προσφέρουμε ξεχωριστή προσφορά για το τέλος αυτής της υπηρεσίας.

6. Σχετικά με την Ασφάλεια:

Το εξαρτηματός μας έχει περίοδο εγγύησης 12 μηνών. Μετά την περίοδο εγγύησης, αν καθετές μέρη είναι κατεστραμμένες και χρειάζεται να αντικατασταθούν, θα φορτίσουμε μόνο την τιμή κόστους.

7. Υπηρεσίες μετά την πώληση:

Όλες οι μηχανές διαθέτουν εγγύηση που υπερβαίνει το ένα έτος. Οι τεχνικοί μας μηχανικοί είναι πάντα συνδεδεμένοι για να σας παρέχουν υπηρεσίες εγκατάστασης, ρύθμισης και συντήρησης εξοπλισμού. Μπορούμε να παρέχουμε υπηρεσίες εγκατάστασης και ρύθμισης επί τόπου για ειδικό και μεγάλο εξοπλισμό.