
Μήκος κύματος κέντρου πηγής UV φωτός |
405nm |
Ομοιόμορφη έκθεση |
Περισσότερο από 90% |
Ελάχιστο πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού |
0,5um |
Περιοχή έκθεσης πεδίου εγγραφής ενός περάσματος |
0,16*0,16mm (@0,5um) |
Ταχύτητα εγγραφής |
80 mm²/min (πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού 1 μm) |
Μορφές εικόνων που υποστηρίζονται |
DXF, GDS, bmp, png, κ.λπ. |
Διαμόρφωση |
Βασική έκδοση |
Επαγγελματική έκδοση |
|
Πηγή φωτός |
Φωτεινή ισχυρή LED: 405nm |
||
Chip DMD |
DLP6500 |
||
Περιοχή έκθεσης μεμονωμένου πεδίου |
0,16*0,16 mm (@0,5 μm), 0,4*0,4 mm (@0,7 μm), 0,8*0,8 mm (@1 μm), 1,6*1,6 mm (@2 μm) |
||
ΚΑΜΕΡΑ |
Κάμερα μικροσκοπίου μεγάλης περιοχής (υποστηρίζει μέτρηση μεγέθους) |
||
Ελάχιστο πλάτος ισαπέχουσας γραμμής |
0.8 µm |
0.5μm |
|
Ακρίβεια σύνδεσης |
±0,3 µm |
±0,3μm |
|
Ακρίβεια επικάλυψης |
±0,5 µm |
±0,5μm |
|
Ταχύτητα εγγραφής |
20 mm²/min (πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού 1 µm) |
80 mm²/min (πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού 1μm) |
|
Στάδιο κίνησης |
Υψηλής ακριβείας γραμμικός κινητήρας (επαναλήψιμη ακρίβεια προσδιορισμού θέσης ±0,25µm), μηχανισμός εξισορρόπησης, στροφικό στάδιο χειρός |
Ακριβής γραμμικός κινητήρας (επαναλαμβανόμενη ακρίβεια ευθυγράμμισης ±0,25 µm), μηχανισμός εξισορρόπησης, ηλεκτρική περιστρεφόμενη βάση |
|
Μεταλλάκτης φακών αντικειμένου |
Χειροκίνητη εναλλαγή φακών αντικειμένου |
Ηλεκτροκίνητη εναλλαγή φακών αντικειμένου |
|
Μονάδα εστίασης |
Αυτόματη εστίαση εικόνας CCD |
Ενεργή λέιζερ εστίαση |
|
Υποστηριζόμενα μεγέθη υποστρωμάτων |
4 ίντσες |
4 ίντσες/8 ίντσες |
|
Πάχος δείγματος |
0-10χιλ |
0-10 mm |
|















Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος