Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Αρχική σελίδα
Ποιοι Είμαστε
Εξαρτήματα MH
Lysi
Χρήστες Εκτός Από Την Επιχείρηση
Βίντεο
Epi Koinonia
Αρχική> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP
  • MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP
  • MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP
  • MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP

MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP

Μοντέλο: MDICP-5000F

MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Σύνοψη Εκτελεστικού:

Το εξοπλισμός είναι ένα σύστημα δύο δωματίων υπό κενό. Ένα δωμάτιο είναι το δωμάτιο εισαγωγής δειγμάτων και το άλλο είναι το δωμάτιο εξαγωγής. Ένα κενό κλειδώματος εγκαθίσταται μεταξύ του δωματίου εισαγωγής δειγμάτων και του δωματίου εξαγωγής, και η εισαγωγή δειγμάτων μεταφέρεται από μανιπουλερ.
Το εξαρτημα αποτελείται κυρίως από σύστημα κενού, σύστημα πνευματικών κυκλωμάτων, ηλεκτρικό σύστημα, σύστημα ελέγχου, σύστημα ψύξης, μηχανισμού προμήθειας και παραλήψεως φιλμ, σύστημα ειδοποίησης, κλπ.

Σύστημα κενού:

Το σύστημα αποτελείται από μοριακή βάλβα με ταχύτητα ροής 600 L/Σ + εισαγωγική ξερή βάλβα κενού με ταχύτητα ροής L/Σ για να εκτοξεύει το δωμάτιο εντομώνεσης σε υψηλό κενό. Μια ηλεκτρική δυναμική βάλβα ρύθμισης πίεσης εγκαθίσταται μεταξύ της μοριακής βάλβας και του δωματίου εντομώνεσης. Η εισαγωγική ξερή βάλβα είναι η προηγούμενη βάλβα εκτόξευσης του δωματίου εντομώνεσης και η πρώτη στάδιο βάλβα της μοριακής βάλβας. Χρησιμοποιείται μια άλλη μηχανική βάλβα με ταχύτητα ροής L/Σ για να εκτοξεύει το δωμάτιο δειγμάτων. Χρησιμοποιούνται αστράγαλοι από αντισεισμικό χάλκας για τη σύνδεση μεταξύ της μηχανικής βάλβας και του κενού δωματίου και της μοριακής βάλβας, και εγκαθίσταται μια ηλεκτρομαγνητική πνευματική βάλβα μπλοκ.

Σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης

Το εξαρμοστικό είναι οπλισμένο με σύστημα διαχείρισης σταθερής πίεσης κάτω από ροή, και έχει εγκατασταθεί ηλεκτρικός ρυθμιστικός σφίγγος στον αεριούλιο αγωγό. Μέσω της μέτρησης του φιλμ-μετρητή (εισαγωγικά μέρη), ο ρυθμιστικός σφίγγος ελέγχεται ώστε να φτάσει η κενούποιη θάλαμος σε σταθερή πίεση, με σκοπό να βελτιωθεί η διαδικασία σταθερότητας.

Σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης

Το εξαρμοστικό είναι οπλισμένο με σύστημα διαχείρισης σταθερής πίεσης κάτω από ροή, και έχει εγκατασταθεί ηλεκτρικός ρυθμιστικός σφίγγος στον αεριούλιο αγωγό. Μέσω της μέτρησης του φιλμ-μετρητή (εισαγωγικά μέρη), ο ρυθμιστικός σφίγγος ελέγχεται ώστε να φτάσει η κενούποιη θάλαμος σε σταθερή πίεση, με σκοπό να βελτιωθεί η διαδικασία σταθερότητας.

Σύστημα κυκλοφορίας αερίου

Δύο σύνολα RF υποστηρικτικών με αυτόματη σύμπτωση.

Σύστημα σήματος

Ασφαλεία απαιτήσεων για το εξαρμοστικό.
Προδιαγραφή
Όνομα
Spc
Μάρκα
Αριθμός Σετ
Σημείωση
Θάλαμος εκτύπωσης, αεριούλιος αγωγός, παρατηρητικό παράθυρο, κλπ
Πρότυπο
JSWN
1
Αντιρροπικός
Πλαίσιο, ηλεκτρικό κιβώτιο, σφραγίδες, κανονικά τμήματα, κλπ
Πρότυπο
JSWN
1
Σύστημα εγείρσης κάλυψης θαλάμου ψαλιδογραφήσεως
Πρότυπο
JSWN
1
Αντιρροπικός
Ηλεκτρόδιο ψαλιδογραφήσεως και σύστημα ψύξης
Πρότυπο
JSWN
1
Αντιρροπικός
Μοριακή πομπή (ταχύτητα ανασύρσης 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Αντιρροπικός
Εισαγωγική ξηρή πομπή (ταχύτητα ανασύρσης 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Αντιρροπικός
Μηχανική πομπή (ταχύτητα ανασύρσης 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Ηλεκτρικό ρυθμιστικό πύλημα
DCQ-150
JSWN
1
Αντιρροπικός
Πνευματικό σάκουλο κλειδώματος
KF40
JSWN
3
Αντιρροπικός
Μεμβράνη μέτρου
KF16
INFICON
1
Αντιρροπικός
Έλεγχος μάζας ροής
D07
Sevenstar
4
Αντιρροπικός
Πνευματικό διάφραγμα κλειδώματος
1/4″VCR
-
4
Αντιρροπικός
Άχρωμα χάλκινο αγωγό, σύνδεση αγωγού κ.α.
1/4″VCR
-
4
Αντιρροπικός
Προμήθεια RF / αυτόματος προσαρμογέας
-
Κίνα(Παραλλαγή CROWN1310 προαιρετικά)
1
Προμήθεια RF / αυτόματος προσαρμογέας
-
Κίνα(Παραλλαγή CROWN1310 προαιρετικά)
1
Σύνθετος βαρόμετρος κενού
ΖΔΦ
ΡΜ
1
ΔΕΠ
Κίνα
1
Οθόνη αφής LCD
17 ίντσες
Κίνα
1
Σύστημα ελέγχου plc
S7-200
SIEMENS
1
Ηλεκτρικό σύστημα έλεγχου κινητήρα
Πρότυπο
JSWN
1
Ανίχνευση καλύψιμου νερού και σύστημα δικτύων
Πρότυπο
JSWN
1
Ανίχνευση συμπιεσμένου αέρα και σύστημα δικτύων
Πρότυπο
JSWN
1
Μηχάνημα κυκλοφορίας ψύξης νερού
Hx
Κίνα
1
Καμάρα εισαγωγής για εκβολή
Πρότυπο
JSWN
1
Κλειδωμένο κενό
SMC
SMC
1
Σύστημα ελέγχου μανιπουλάτορα
SMC
SMC
1

Τεχνικό παράμετρο email

1. Περιορισμένο κενό: Καμάρα εκβολής 9.0×10-5Pa (Εσωτερική υγρασία ≤55%)
Καμάρα δειγματοληψίας εισαγωγής 6.0×10-1Pa
2. Υλικό εκβολής: Υλικό ΙΙΙ, Β, Si, SiO2 κλπ.
3. Ρυθμός ενταγής: ~ 1μ/λεπτό
4. Ομοιομορφία ενταγής: ≤±5%(φ125mm μέχρι)
6. Διάστημα ηλεκτρώδου: φ200mm

Συχνές Ερωτήσεις

1. Περί τιμής:

Όλες οι τιμές μας είναι ανταγωνιστικές και διαπραγματεύσιμες. Η τιμή διαφέρει βάσει της συγκεκριμένης ρύθμισης και της πολυπλοκότητας προσαρμογής του συστήματος.

 

2. Σχετικά με το δείγμα:

Μπορούμε να σας παρέχουμε υπηρεσίες δειγματικής παραγωγής, αλλά ίσως να πρέπει να καταβάλετε μερικά τέλη.

 

3. Σχετικά με την πληρωμή:

Μετά την επιβεβαίωση του σχεδίου, πρέπει να μας πληρώσετε προπληρωμή, και η εργοστάσιο θα ξεκινήσει να ετοιμάζει τα προϊόντα. Μετά το ολοκλήρωμα της εξοπλισμού και την πληρωμή του υπολοίπου, θα το αποστείλουμε.

 

4. Σχετικά με την Παράδοση:

Μετά την ολοκλήρωση της κατασκευής του εξοπλισμού, θα σας στείλουμε το βίντεο αποδοχής και μπορείτε επίσης να έρθετε στον χώρο για να ελέγξετε τον εξοπλισμό.

 

5. Εγκατάσταση και Ρύθμιση:

Όταν ο εξοπλισμός φτάσει στην εργοστάσιό σας, μπορούμε να αποστείλουμε μηχανικούς για να εγκαταστήσουν και να ρυθμίσουν τον εξοπλισμό. Θα σας προσφέρουμε ξεχωριστή προσφορά για το τέλος αυτής της υπηρεσίας.

 

6. Σχετικά με την Ασφάλεια:

Το εξαρτηματός μας έχει περίοδο εγγύησης 12 μηνών. Μετά την περίοδο εγγύησης, αν καθετές μέρη είναι κατεστραμμένες και χρειάζεται να αντικατασταθούν, θα φορτίσουμε μόνο την τιμή κόστους.

 

7. Υπηρεσίες μετά την πώληση:

Όλες οι μηχανές διαθέτουν εγγύηση που υπερβαίνει το ένα έτος. Οι τεχνικοί μας μηχανικοί είναι πάντα συνδεδεμένοι για να σας παρέχουν υπηρεσίες εγκατάστασης, ρύθμισης και συντήρησης εξοπλισμού. Μπορούμε να παρέχουμε υπηρεσίες εγκατάστασης και ρύθμισης επί τόπου για ειδικό και μεγάλο εξοπλισμό.

Ερώτηση

Ερώτηση Email WhatsApp WeChat
ΚΟΡΥΦΗ
×

ΕΠΙΚΟΙΝΩΝΗΣΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ