Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP , China Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP

Μοντέλο: MDST-6100

Ο ξηρός πλάσμα απομακρυντής με ενισχυμένο κυκλικό πλάσμα (ICP) είναι κατάλληλος για εφαρμογές όπως η απομάκρυνση υπολειμμάτων (προ-επεξεργασία και αφαίρεση υπολειμμάτων), η αφαίρεση πολυμερών (PI, BCB, PBO) και η απομάκρυνση φωτοαντιγραφικού μετά από ενσορβάρσεις ιόντων· η θάλαμος υποδέχεται δείγματα 8 ιντσών (με συμβατότητα για μεγέθη 4 και 6 ιντσών).

Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP

Η εμφάνιση του εξοπλισμού υπόκειται σε συνεχείς βελτιώσεις και προσαρμογές· το πραγματικό αποστελλόμενο προϊόν ισχύει.

头图7.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Πλεονέκτημα:

Υψηλός βαθμός ιονισμού και διάσπασης του πλάσματος

Μετά την επεξεργασία με πλάσμα, η επαναληψιμότητα είναι υψηλή

Ξηρή εξάλειψη, χωρίς πηγή ρύπανσης

Έλεγχος πίεσης και θερμοκρασίας μέσω πεταλοειδών βαλβίδων

Μπορεί να διατηρήσει πλάσμα υπό υψηλή πίεση

Διαχωρισμός της πηγής υψηλής τάσης και του γεννήτορα ιόντων

Η σύνδεση μικροκυμάτων και το μαγνητικό κύκλωμα είναι συμβατά

Μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις των πελατών

Χαμηλή θερμοκρασία κατά την επεξεργασία

Γρήγορη ταχύτητα ανταπόκρισης και σύντομος χρόνος ανταπόκρισης

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

Μοντέλο	MDST6100
ΠΛΑΣΜΑ πηγή	ραδιοσυχνότητα
δύναμη	1000W
Πεδίο εφαρμογής	8 ίντσες (συμβατό με 4 ή 6 ίντσες)
Μέγεθος κουτιού	25 κομμάτια
Γενικές διαστάσεις	Μ1696xΠ2170xΥ2146 χιλ.
Ελέγχος συστήματος	ΠΛΚ
Σύστημα κουτιού υλικών	Αυτόματο