Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP , China Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

Ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP

Ο ξηρός αποκαθαριστής φωτοαντιστάσεων πλάσματος ICP χρησιμοποιείται κυρίως για την αφαίρεση πολυμερών, την αποκατάσταση (ashing), την αφαίρεση υπολειμμάτων (descumming), την αφαίρεση φωτοαντιστάσεων μετά από ενσωμάτωση ιόντων και τον καθαρισμό επιφανειακών υπολειμμάτων. Η θάλαμος MDST3100 υποδέχεται δείγματα διαμέτρου 4 έως 8 ιντσών με ικανότητα επεξεργασίας ενός μόνο πλακιδίου ανά κύκλο, ενώ η θάλαμος MDST3200 υποδέχεται δείγματα διαμέτρου 4 έως 8 ιντσών με ικανότητα επεξεργασίας δύο πλακιδίων ανά παρτίδα.

Η εμφάνιση του εξοπλισμού υπόκειται σε συνεχείς βελτιώσεις και προσαρμογές· το πραγματικό αποστελλόμενο προϊόν ισχύει.

头图4.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Ξενούσιμο

Αφαίρεση Πολυμερών

DESCUM

Ξηρός καθαρισμός του στρώματος σκληρού μάσκας

Αφαίρεση φωτοαντιστάσεων μετά την ενσωμάτωση ιόντων

Αφαίρεση υπολοίπων στην επιφάνεια

Αφαίρεση φωτοαντιστάσεων στη διαδικασία BAW/SAW

Ξηρός καθαρισμός του στρώματος αντιανακλαστικού γραφικού φιλμ

Καθαρισμός επιφάνειας μετά τον εκτροχιλισμό

Πλεονέκτημα:

Υψηλός βαθμός ιονισμού και διάσπασης του πλάσματος

Μετά την επεξεργασία με πλάσμα, η επαναληψιμότητα είναι υψηλή

Ξηρή εξάλειψη, χωρίς πηγή ρύπανσης

Έλεγχος πίεσης και θερμοκρασίας μέσω πεταλοειδών βαλβίδων

Μπορεί να διατηρήσει πλάσμα υπό υψηλή πίεση

Διαχωρισμός της πηγής υψηλής τάσης και του γεννήτορα ιόντων

Η σύνδεση μικροκυμάτων και το μαγνητικό κύκλωμα είναι συμβατά

Μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις των πελατών

Χαμηλή θερμοκρασία κατά την επεξεργασία

Γρήγορη ταχύτητα ανταπόκρισης και σύντομος χρόνος ανταπόκρισης

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

Μοντέλο		MDST3100	MDST3200
ΠΛΑΣΜΑ πηγή		Rf	Rf
Δύναμη	ICP	1000W	1000W
	BIAS	ΟΧΙ	ΟΧΙ
Πεδίο εφαρμογής		4-8 ίντσες	4-8 ίντσες
Αριθμός πλακών που επεξεργάζονται σε μία λειτουργία		1	2
Γενικές διαστάσεις		1300x1190x1847 χιλιοστά	1300x1650x1850 χιλιοστά
Ελέγχος συστήματος		Σύστημα Βιομηχανικής Ελέγχου
βαθμός αυτοματοποίησης		Αυτόματο