Παρτιδιακός αποκαθαριστής πλακιδίων τύπου σωλήνα / σύστημα αποκατάστασης πλακιδίων

Εξοπλισμός αφαίρεσης φωτοαντιστάσεων με RF για παρτίδες πλακιδίων

Η εμφάνιση του εξοπλισμού υπόκειται σε συνεχείς βελτιώσεις και προσαρμογές· το πραγματικό αποστελλόμενο προϊόν ισχύει.

Το MDST-3300 είναι ένα σύστημα αποτέφρωσης με μικροκύματα, βασισμένο σε κασέτες πλακιδίων, για παρτίδες επεξεργασίας, σχεδιασμένο για εφαρμογές όπως η αφαίρεση φωτοαντιστάσεων, η αφαίρεση υπολειμμάτων μετά από επεξεργασία, ο καθαρισμός πλακιδίων, η αφαίρεση υπολειμμάτων μετά από υγρές διαδικασίες, ο καθαρισμός υπολειμμάτων από την επιφάνεια πλακιδίων και η αφαίρεση υπολειμμάτων μετά από ανάπτυξη. Ελεύθερα κινούμενα ηλεκτρόνια δημιουργούν πλάσμα που δρα στη φωτοαντίσταση στις επιφάνειες των πλακιδίων που βρίσκονται εντός της κασέτας από κρύσταλλο πυριτίου μέσα στη θάλαμο. Ένα συνεχές, υψηλής πυκνότητας πλάσμα δημιουργείται με την εφαρμογή μικροκυματικής ενέργειας 13,56 MHz στα τοιχώματα της κενοθαλάμου. Η θάλαμος υποδέχεται κασέτες από κρύσταλλο πυριτίου για πλακίδια διαμέτρου 4 έως 8 ιντσών.

Το MDST-2300 παρέχει γρήγορο καθαρισμό με πλάσμα χωρίς ζημιά. Το σύστημα επιτυγχάνει αυτό το αποτέλεσμα καθαρισμού μέσω χημικών αντιδράσεων μεταξύ ενεργοποιημένων ριζών και της φωτοαντίστασης στην επιφάνεια των πλακιδίων.

Αρχή λειτουργίας:

Εφαρμόζεται ηλεκτρικό πεδίο στο αέριο επεξεργασίας για να το ιονίσει σε πλάσμα. Τα «ενεργά» συστατικά του πλάσματος περιλαμβάνουν ιόντα, ηλεκτρόνια, άτομα, ελεύθερες ρίζες, ειδικά ενεργοποιημένα είδη (μετασταθή καταστάσεις) και φωτόνια. Η επεξεργασία με πλάσμα αξιοποιεί τις ιδιότητες αυτών των ενεργών συστατικών για να προκαλέσει φυσικές και χημικές αντιδράσεις—όπως οξείδωση, αναγωγή, διάσπαση δεσμών, διασταύρωση και πολυμερισμό—με αποτέλεσμα την τροποποίηση των χαρακτηριστικών της επιφάνειας του δείγματος. Αυτή η διαδικασία βελτιστοποιεί την επιφανειακή απόδοση και επιτυγχάνει στόχους όπως η καθαριότητα, η τροποποίηση της επιφάνειας και η απομάκρυνση υπολειμμάτων.

Πλεονεκτήματα:

1. Εύκαμπτα στηρίγματα προϊόντων επιτρέπουν την τοποθέτηση πλακιδίων ακανόνιστου σχήματος·

2. Πλάσμα χαμηλής θερμοκρασίας αποτρέπει θερμική ζημιά στα πλακίδια·

3. Ηλεκτρικώς ουδέτερο πλάσμα αποτρέπει ηλεκτρική ζημιά στα πλακίδια·

4. Υψηλής απόδοσης και ομοιόμορφη έξοδος πλάσματος διασφαλίζει αποτελεσματική αφαίρεση φωτοαντιστάσεων·

5. Υψηλός βαθμός ιονισμού και διάσπασης του πλάσματος·

6. Ξηρή διάβρωση εξαλείφει πηγές μόλυνσης·

7. Η πίεση και η θερμοκρασία ρυθμίζονται μέσω βαλβίδας πεταλούδας·

8. Ικανό να διατηρεί πλάσμα σε υψηλές πιέσεις αερίου·

9. Πηγή υψηλής τάσης απομονωμένη από τον γεννήτορα ιόντων·

10. Συμβατό με μικροκυματική σύζευξη και διαμορφώσεις μαγνητικού κυκλώματος.

Δομή του προϊόντος:

Το σύστημα επεξεργασίας επιφάνειας με πλάσμα περιλαμβάνει κυρίως τρία μέρη: θάλαμο κενού και σύστημα κενού, γεννήτρια ραδιοσυχνοτήτων (RF) και σύστημα ελέγχου.

(Α) Θάλαμος κενού και σύστημα δημιουργίας κενού:

Ο θάλαμος κενού είναι στερεωμένος εντός του πλαισίου της κασέτας, με αποσυναρμολογούμενες πόρτες στις δύο πλευρές, κάνοντας τη συντήρηση του εσωτερικού θαλάμου κενού και του συστήματος κενού εξαιρετικά εύκολη. Το σύστημα δημιουργίας κενού αποτελείται κυρίως από ρυτιδωτούς σωλήνες, συνδέσμους KF και αντλίες κενού, με βασικό συστατικό την αντλία κενού (ομάδα αντλιών κενού).

(Β) Γεννήτρια RF:

Η γεννήτρια RF είναι εξοπλισμένη με τροφοδοτικό 1000 W για την παραγωγή RF, ενώ η ενέργεια μικροκυμάτων τροφοδοτείται στον πλασματικό κρυσταλλικό θάλαμο μέσω συσκευής προσαρμογής για τη δημιουργία πλάσματος.

(Γ) Σύστημα ελέγχου:

Αυτό το σύστημα χρησιμοποιεί βιομηχανικές οθόνες εμφάνισης, βιομηχανικά συστήματα ελέγχου PC και σχεδιασμό διεπαφής στα κινεζικά. Έλεγχος διαδικασίας του εξοπλισμού: ενεργοποίηση αντλίας κενού → ανοιγματος βαλβίδας φράγματος → επίτευξη καθορισμένου επιπέδου κενού → εισαγωγή αερίου διαδικασίας → παραγωγή RF από την πηγή RF → εισαγωγή ενέργειας RF στη θάλαμο → δημιουργία πλάσματος στη θάλαμο → χρόνος λειτουργίας μέχρι τη διακοπή του κενού → ολοκλήρωση της εργασίας. Ο εξοπλισμός είναι διαθέσιμος σε δύο λειτουργικές λειτουργίες: αυτόματη και χειροκίνητη.

Προδιαγραφές προϊόντος: