έργο |
Προδιαγραφές |
παρατηρήσεις |
||
1 |
Γενική Περιγραφή του Συσκευασίου |
Όνομα εξοπλισμού: Πλήρως αυτόματη μηχανή για ομοιόδεικτη χρήση κόλλης |
||
Μοντέλο εξοπλισμού: MD-2C2D6 |
||||
Προδιαγραφές επεξεργασίας κυκλών: συμβατές με κανονικούς κύκλους 4/6-δυναριών |
||||
Ροή επεξεργασίας για ομοιόδεικτη χρήση κόλλης: Κοψιμό καλάθι → κεντροποίηση → ομοιόδεικτη χρήση κόλλης (ραντσάρισμα → ομοιόδεικτη χρήση κόλλης → αφαίρεση άκρων, πίσω πλύσιμο) → θερμή πλάκα → κρύα πλάκα → τοποθέτηση σε καλάθι Ροή επεξεργασίας ανάπτυξης: Κοψιμό καλάθι → κεντροποίηση → ανάπτυξη (λύση ανάπτυξης → αποιονισμένο νερό, πίσω πλύσιμο → ξερασμός με αζώτιο) → θερμή πλάκα → κρύα πλάκα → τοποθέτηση σε καλάθι |
||||
Συνολικές διαστάσεις (προσαρμοστικές): 2100mm (Π) * 1800mm (Β) * 2100mm (Υ) |
||||
Διαστάσεις χημικού καταστήματος (προσαρμοστικές): 1700(Π) * 800(Β) * 1600mm (Υ) |
||||
Συνολικό βάρος (προσεγγίζοντας): 1000kg |
||||
Ύψος εργαστηριακής μπάνκας: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Ενότητα κασέτας |
Ποσότητα: 2 |
||
Συμβατή μέγεθος: 4/6 ίντσες |
||||
Ανίχνευση κασέτας: ανίχνευση με μικροαντιστάτη |
||||
Έξυπνη ανίχνευση εξωτερικής: Ναι, αντανακλαστικός αισθητήρας |
||||
3 |
ρομπότ |
Ποσότητα: 1 |
||
Τύπος: Ρομπότ διπλών χεριών με κενού παραλλαγής της τράπεζας |
||||
Βαθμός ελευθερίας: 4-άξονας (R1, R2, Z, T) |
||||
Υλικό δαχτυλίων: κεραμικό |
||||
Μέθοδος κατάκρεμσης υποβάθρου: μέθοδος εισαγωγής με διακανονισμό |
||||
Συνάρτηση χαρτογράφησης: Ναι |
||||
Ακρίβεια τοποθέτησης: ± 0,1mm |
||||
4 |
Ενότητα κεντρικής |
Ποσότητα: 1 σετ |
Προαιρετική αισθητική σύμφωνηση |
|
Μέθοδος σύμφωνης: μηχανική σύμφωνη |
||||
Ακρίβεια κεντρικής: ± 0,2mm |
||||
5 |
Ομοιόμορφη ενότητα κόλλης |
Ποσότητα: 2 σύνολα (τα παρακάτω είναι διαμορφώσεις για κάθε μονάδα) |
||
Ταχύτητα περιστροφής αξόνα: -5000rpm~5000rpm |
φορτικός καταστροφεάς |
|||
Ακρίβεια περιστροφής αντλίας: ± 1γ.δ. (50γ.δ.~5000γ.δ.) |
||||
Ελάχιστος συντονισμός ταχύτητας περιστροφής αντλίας: 1γ.δ. |
||||
Μέγιστη επιτάχυνση περιστροφής αντλίας: 20000γ.δ./δευτ. |
φορτικός καταστροφεάς |
|||
Ροπή καθύσματος: 1 σύνολο |
||||
Διαδρομή φωτορεζιστ: 2 διαδρομές |
||||
Διάμετρος στομιού φωτορεζιστ: 2,5mm |
||||
Θερμοαπομακρυντικό φωτορεζιστ: 23 ± 0,5 ℃ |
επιλογικό |
|||
Υδατοπαροχή με στόμιο: Ναι |
||||
RRC: Ναι |
||||
Buffer: Ναι, 200ml |
||||
Μέθοδος χρήσης κόλλας: επιλογή κεντρικής ρίψης και σάρωσης |
||||
Χεριά για αφαίρεση άκρων: 1 σύνολο |
||||
Διάμετρος στομιών αφαίρεσης άκρων: 0.2mm |
||||
Παρακολούθηση ροής υγρού αφαίρεσης άκρων: φλογομέτρο με float |
||||
Έκταση ροής υγρού αφαίρεσης άκρων: 5-50ml/λεπτό |
||||
Δικτύωμα αντιστρόφου πλύσιμου: 2 τρόποι (4/6 inch κάθε με 1 κανάλι) |
||||
Παρακολούθηση ροής αντιστρόφου πλύσιμου: φλογομέτρο με float |
||||
Έκταση ροής υγρού αντιστρόφου πλύσιμου: 20-200ml/λεπτό |
||||
Μέθοδος κατάκρεμψης χίπ: κατάκρεμψη με μικρό εμφύλιο κενού |
||||
Σήμα πίεσης κενού: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης κενού |
||||
Υλικό χάρκας: PPS |
||||
Υλικό κυπέλλου: PP |
||||
Παρακολούθηση εξάτμισης κυπέλλου: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης |
||||
6 |
Μονάδα ανάπτυξης |
Εξοχλίδα: ναι |
||
Ποσότητα: 2 σύνολα (τα παρακάτω είναι διαμορφώσεις για κάθε μονάδα) |
||||
Ταχύτητα περιστροφής αξόνα: -5000rpm~5000rpm |
φορτικός καταστροφεάς |
|||
Ακρίβεια περιστροφής αντλίας: ± 1γ.δ. (50γ.δ.~5000γ.δ.) |
||||
Ελάχιστος συντονισμός ταχύτητας περιστροφής αντλίας: 1γ.δ. |
||||
Μέγιστη επιτάχυνση περιστροφής αντλίας: 20000γ.δ./δευτ. |
φορτικός καταστροφεάς |
|||
Βραχίονας ανάπτυξης: 1 σύνολο |
||||
Δικτύωμα ανάπτυξης: 2-δρόμος (φανερά/στηλοειδής στόμιο) |
||||
Φιλτράρισμα αναπτυκτικού: 0.2um |
||||
Έλεγχος θερμοκρασίας αναπτυκτικού: 23 ± 0.5 ℃ |
επιλογικό |
|||
Γamasma λύσης ροής εύρος: 100~1000ml/λεπτό |
||||
Κινητικός τρόπος του χεριού γαμασμού: σταθερό σημείο ή σάρωση |
||||
Χέρι γαμασμού: 1 σύνολο |
||||
Διαδρομή διαιωνιστικού νερού: 1 κυκλοφορία |
||||
Διάμετρος στομιού διαιωνιστικού νερού: 4mm (εσωτερικός διάμετρος) |
||||
Ροή διαιωνιστικού νερού εύρος: 100~1000ml/λεπτό |
||||
Διαδρομή ξηρανσης με αζώτιο: 1 κυκλοφορία |
||||
Διάμετρος στομιού αζωτίου: 4mm (εσωτερικός διάμετρος) |
||||
Ροή αζωτίου εύρος: 5-50L/λεπτό |
||||
Παρακολούθηση ροής γαμασμού, διαιωνιστικού νερού, αζωτίου: ροέμετρος με φλογέρα |
||||
Δικτύωμα αντιστρόφου πλύσιμου: 2 τρόποι (4/6 inch κάθε με 1 κανάλι) |
||||
Παρακολούθηση ροής αντιστρόφου πλύσιμου: φλογομέτρο με float |
||||
Έκταση ροής υγρού αντιστρόφου πλύσιμου: 20-200ml/λεπτό |
||||
Μέθοδος κατάκρεμψης χίπ: κατάκρεμψη με μικρό εμφύλιο κενού |
||||
Σήμα πίεσης κενού: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης κενού |
||||
Υλικό χάρκας: PPS |
||||
Υλικό χάρκας: PPS |
||||
Υλικό κυπέλλου: PP |
||||
Παρακολούθηση εξάτμισης κυπέλλου: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης |
||||
7 |
Μονάδα κολλώσεως |
Ποσότητα: 2 |
επιλογικό |
|
Εμφάνιση θερμοκρασίας: δωμάτιο~180 ℃ |
||||
Ομοιότητα θερμοκρασίας: Δωμάτιο~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Αφαίρεση 10mm από την άκρη, εκτός από το οριακό τρύπανο ejector pin) |
||||
Ελάχιστο ποσό συντονισμού: 0.1 ° C |
||||
Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας: συντονισμός PID |
||||
Περιοχή ύψους PIN: 0-20mm |
||||
Υλικό PIN: σώμα SUS304, καπάκι PIN από PI |
||||
Διάστημα ψησίματος: 0.2mm |
||||
Σήμα ειδοποίησης υπερθερμανσίας: ειδοποίηση θετικής και αρνητικής απόκλισης |
||||
Μέθοδος παροχής: Βουβούρισμα, 10 ± 2ml/ min |
||||
Κενότατη λειτουργία δωματίου: -5-20KPa |
||||
8 |
Μονάδα καυτήρα |
Ποσότητα: 10 |
||
Επιτρεπόμενος όροφος θερμοκρασίας: δωμάτιος θερμοκρασίας~250 ℃ |
||||
Ομοιότητα θερμοκρασίας: Δωμάτιο~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Αφαίρεση 10mm από την άκρη, εκτός από το οριακό τρύπανο ejector pin) |
||||
Ελάχιστο ποσό συνταγματικής τροποποίησης: 0.1 ℃ |
||||
Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας: συντονισμός PID |
||||
Περιοχή ύψους PIN: 0-20mm |
||||
Υλικό PIN: σώμα SUS304, καπάκι PIN από PI |
||||
Διάστημα ψησίματος: 0.2mm |
||||
Σήμα ειδοποίησης υπερθερμανσίας: ειδοποίηση θετικής και αρνητικής απόκλισης |
||||
9 |
Μονάδα ψυγείου |
Ποσότητα: 2 |
||
Επιτρεπόμενος όροφος θερμοκρασίας: 15-25 ℃ |
||||
Μέθοδος ψύξης: ψύξη με κυκλική μπάμπα σταθερής θερμοκρασίας |
||||
10 |
Εφοδιασμός Χημικών |
Αποθήκευση Photoresist: πνευματική κολλώδης μπάμπα * 4 σύνολα (Προαιρετική δεξαμενή ή ηλεκτρική κολλώδης μπάμπα) |
||
Όγκος εκχύσεως κόλλας: μέγιστα 12ml ανά σεσιόν, ακρίβεια ± 0.2ml |
||||
Αφαίρεση άκρων/πίσω μπάνιο/RRC εφοδιασμός: δεξαμενή πίεσης 18L * 2 (αυτόματη επανάπληρωση) |
||||
Παρακολούθηση επιπέδου υγρού για αφαίρεση άκρων/πίσω μπάνιο/RRC: φωτοηλεκτρικός αισθητήρας |
||||
Παρακολούθηση επιπέδου υγρού Photoresist: φωτοηλεκτρικός αισθητήρας |
||||
Έκριμα ομοιόμορφου κολλώδους: δεξαμενή έκριμα 10L |
||||
Εφοδιασμός αναπτυξιακού: δεξαμενή πίεσης 18L * 4 (Αποθηκευμένη στο ταμείο χημικών έξω από τη μηχανή) |
||||
Εφοδιασμός αποιονισμένου νερού: άμεσος εφοδιασμός από την εγκατάσταση |
||||
Ανάπτυξη επιτήρησης επιπέδου υγρών: φωτοελεκτρικός αισθητήρας |
||||
Έκριμα ανάπτυξης: έκριμα βιομηχανίας |
||||
Παροχή τακιφιέρ: πιεζοψύχρα 10L * 1, πιεζοψύχρα 2L * 1 |
||||
Επιτήρηση επιπέδου τακιφιέρ: φωτοελεκτρικός αισθητήρας |
||||
11 |
σύστημα Ελέγχου |
Μέθοδος ελέγχου: PLC |
||
Διεπαφή ανθρώπου-μηχανής: οθόνη αγγιασμού 17 ίντσες |
||||
Ανεξάρτητος παροχής δύναμης (UPS): Ναι |
||||
Ορισμός κωδικών κρυπτογράφησης για τους λειτουργούς συσκευών, τεχνικούς, διαχειριστές |
||||
Τύπος σήματος φωτιστικής πύργος: κόκκινο, κίτρινο, πράσινο 3 χρώματα |
||||
12 |
Δείκτες αξιοπιστίας συστήματος |
Uptime: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA： ≥24h |
||||
Συντελεστής κατασπασμού: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Άλλες λειτουργίες |
Κίτρινο φως: 4 σύνολα (θέση: πάνω από τη μονάδα αναμίξης κόλλης και ανάπτυξης) |
||
THC: Ναι, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
επιλογικό |
|||
FFU: Τάξη 100, 5 σύνολα (προϊόν μονάδας και περιοχή ROBOT) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
