Το πρώτο πράγμα που κάνουμε είναι να καλύψουμε την επιφάνεια του βασικού υλικού με ένα ειδικό φωτορεακτιβό υλικό. Είναι φωτοευαίσθητο υλικό, το οποίο έχει κεντρικό ρόλο στη διαδικασία. Στη συνέχεια χρησιμοποιούμε ένα μάσκα με κάποιο είδος μοτίβου στην επιφάνειά του και το τοποθετούμε πάνω από αυτή την στρώση. Το μάσκα λειτουργεί ως ένα στεντερντ με τρύπες που μεταφέρουν φως μέσω επιλεγμένων τοποθεσιών. Μετά, εκθέτουμε το μοτίβο στο μάσκα σε UV φως που δεν μπορούμε να δούμε. Αυτό το φως δημιουργεί μια εικόνα του φωτοευαίσθητου υλικού, παρόμοια με τον τρόπο που το ηλιακό φως μπορεί να δημιουργήσει σκιά όταν το φως περνάει μέσω μιας κοπής σχήματος. Το τελικό βήμα αποτελείται από το να βουτήξουμε το υποστρώματο σε ένα είδος λύσης γνωστή ως αναπτυρικό. Αυτή η διαδικασία αφαιρεί το τμήμα της φωτοευαίσθητης στρώσης που έχει εκτεθεί στο φως και παρουσιάζει ένα μοτίβο στο βασικό υλικό.
Σε Wire Bonder μία από τις μεγαλύτερες πτυχές που πρέπει να ελεγχθούν είναι οι σφάλματα που συμβαίνουν κατά τη διάρκεια των τριών κύριων βημάτων και είναι πολύ σημαντικό να λάβουμε καλά, ακριβή αποτελέσματα. Διαμάχρυση a) Η διαμάχρυση περιλαμβάνει την κάλυψη του βασικού υλικού ομοιόμορφα με το φωτοεπισάξιμο υλικό. Δηλαδή, κάθε κομμάτι του βασικού υλικού πρέπει να έχει την ίδια ποσότητα ειδικού συστατικού. Άλλαξε δηλαδή, χρησιμοποιούμε συνήθως μηχανές για να επιτύχουμε αυτήν την τέλεια οριζόντια και επίπεδη επιφάνεια. Κατά τη διάρκεια αυτού του βήματος, επαληθεύουμε την ποιότητα (χωρίς κύτταρα ή τελειοτροπίες στην πλευρά της επιφάνειας).
Η λύση αναπτυξέα χρησιμοποιείται για να αφαιρέσει το εκκρεμές τμήμα του υλικού, δημιουργώντας ένα μοτίβο κατά την βήμα 3: ανάπτυξη. Αλλά μπορούμε να παρακαμφθούμε και σ' αυτή τη φάση. Δεν θέλουμε να αφήσουμε το υλικό στη λύση για πολύ μεγάλο διάστημα και αν η λύση είναι πολύ ισχυρή, θα καταστρέψει το μοτίβο που προσπαθούμε να δημιουργήσουμε. Έτσι, πρέπει να ελέγχουμε πολύ προσεκτικά το χρονικό διάστημα και τη συγκέντρωση της λύσης αναπτυξέα για να επιτύχουμε καλά αποτελέσματα.
Το κύριο πλεονέκτημα της Μηχανές σύνδεσης καλωδιών είναι η ικανότητα να εικονογραφεί εξαιρετικά μικρά συστατικά. Αυτό μας επιτρέπει να παράγουμε πολύ μικρά, υψηλής απόδοσης μέρη. Η μέθοδος είναι επίσης πολύ ευέργωτη για μαζική παραγωγή, μας επιτρέπει να παράγουμε πολλά μέρη σε μικρό διάστημα. Αυτό είναι ειδικά κρίσιμο σε βιομηχανίες με εξαιρετικά υψηλή ζήτηση για ορισμένα τύπου μέρη (όπως η βιομηχανία κατασκευής ηλεκτρονικών).
Αφετέρο μερος, υπάρχουν επίσης κάποιες αποδυναμώσεις. Το υψηλό κόστος της φωτολιθογραφίας μάσκας συζυγούς όσον αφορά τις μηχανές καθώς και τα υλικά που χρησιμοποιούνται γι' αυτήν είναι μία από τις μεγαλύτερες προκλήσεις που συνοδεύουν αυτήν τη μέθοδο. Οι μηχανές μπορούν να είναι αποτρεπτικά ακριβιές και χρειαζόμαστε υψηλής ποιότητας απλά υλικά, τα οποία επίσης κοστίζουν πολύ. Επιπλέον, δεν είναι δυνατό να φτιάξεις χαρακτηριστικά μικρότερα από π.χ. 10 nm με αυτήν την μέθοδο. Αυτό είναι σημαντικό επειδή συχνά προωθούμε την κατασκευή όλο και πιο μικρών και δυνατότερων πραγμάτων. Επιπλέον, ο προσδιορισμός είναι εξαιρετικά ευάλωτος σε ρύπανση, έτσι πρέπει να εκτελείται σε πολύ καθαρό περιβάλλον (συνήθως ονομάζεται καθαρό δωμάτιο). Αυτή η απαίτηση μπορεί να κάνει τα πράγματα λίγο πιο περίπλοκα και πιο ακριβά.
Σε τομείς από την ηλεκτρονική ως την ιατρική, η φωτολιθογραφία μάσκας συμμορφώνεται με βασική έρευνα και ανάπτυξη. Η εφαρμογή του SU-8 είναι απολύτως απαραίτητη στη βιομηχανία ηλεκτρονικών για την παραγωγή μικροηλεκτρονικών συσκευών όπως ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, αισθητήρων και οθόνων. Η δημιουργία αυτών των δομών έχει απαιτήσει αρκετά ειδικά εργαλεία που έχουν σχεδιαστεί για να εκτελούν αυτή τη δουλειά, με καλά παραδείγματα να είναι ο EVG(R) mask aligner και το EVG(R) σύστημα συνδέσεως φέρεκ.
Για παράδειγμα, στην ιατρική έρευνα, χρησιμοποιείται η φωτολιθογραφία για να κατασκευαστούν μικροσκοπικές διώρυγες για την ανάλυση σωματικών υγρών. Αυτή η τεχνολογία είναι μέρος του τι ονομάζεται εργαστήριο-σε-ένα-χίπ. Με τη χρήση αυτής της τεχνολογίας, οι υγροί μπορούν να αναλυθούν γρήγορα και με ακρίβεια για να φωτίσουν περισσότερο την υγεία ενός ασθενούς. Η χρήση ενός mask aligner στη φωτολιθογραφία για την κατασκευή μικρο-και νανοεπιφανειακών συστημάτων είναι επίσης πιθανή. Εάν είναι σωστά, αυτά τα συστήματα θα αυξήσουν την ακρίβεια των μετρήσεων φαρμάκων για τους ασθενείς, βελτιώνοντας την αποτελειωτικότητα και την ασφάλεια των θεραπειών.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
