Ηλεκτρική Θέρμανση |
Κάμερα (Μονή κοιλότητα) |
||||
Μη Διαθέσιμο |
|||||
Τύπος κάτω ηλεκτροδίου |
242mm |
||||
Θερμοκρασία Διεργασίας |
-20-100°C |
||||
ΠΛΑΣΜΑ πηγή |
600W-1000W |
||||
Μέγεθος μανομέτρου διαδικασίας |
100mtorr |
||||
Σύστημα κενού |
Μονάδες μοριακής αντλίας, συστήματα ξηράς αντλίας, κάμερα διαδικασίας |
||||
Ο αριθμός των θαλάμων διάβρωσης |
Μοναδικός καταστόμωσης |
||||
Κραμπς |
Τύπος |
Μέγεθος/mm |
Υλικό |
||
Μη Διαθέσιμο |
8、6、4、3、2 |
||||
Ανιχνευτής τελικού σημείου |
Επιλογή |
||||
Επαγωγικά συζευγμένη πλάσμα |
Επιλογή |
Υλικό εκτύπωσης |
Si、Sio, Sin,Sau,Pt,Al |
Ρυθμός διάβρωσης |
>20nm/min (Υλικό Si02) Οι ρυθμοί διαφορετικών υλικών δεν είναι ίδιοι |
Κατανεμημένος έλεγχος |
>85° |
Μέθοδος φόρτωσης |
Άνοιγμα φόρτωσης |
Αέριος αγωγός υπό την εποπτεία ΜFC |
Υπάρχουν διαθέσιμες έξι δεξαμενές αερίου |
Προαιρετική ψύξη από την πίσω πλευρά με ήλιο |
Ναι |
Ανθρώπινη διεπαφή |
Λειτουργία μέσω οθόνης αφής |
Λειτουργικό mode |
Πλήρως αυτόματη λειτουργία, μη πλήρως αυτόματη λειτουργία |
Επιλογή και διαμόρφωση αυτοματοποιημένων συσκευών |
Μπορείτε να επιλέξετε μεταξύ εισαγόμενων ή εγχώριων εξαρτημάτων |
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος