μοντέλο: MDZY-DMD-MLL200
Η τεχνολογία άμεσης εγγραφής DMD (Digital Micromirror Device) εξαλείφει την ανάγκη χρήσης μασκών και επιτρέπει εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια πλάτους γραμμής 0,5 μm.
Κατάλληλη για εργαστήρια ημιαγωγών πανεπιστημίων, εξοπλισμό μικρής κλίμακας έρευνας και ανάπτυξης (R&D) για εργαστηριακές εγκαταστάσεις παραγωγής πλακιδίων (Wafer FAB), προηγμένη συσκευασία, κατασκευή PCB, μικρορευστική και βιο-τσιπς, MEMS, μηχανή φωτολιθογραφίας χωρίς μάσκες DMD (Digital Micromirror Device).


Μήκος κύματος κέντρου πηγής UV φωτός |
405nm |
Ομοιόμορφη έκθεση |
Περισσότερο από 90% |
Ελάχιστο πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού |
0,5um |
Περιοχή έκθεσης πεδίου εγγραφής ενός περάσματος |
0,16*0,16mm (@0,5um) |
Ταχύτητα εγγραφής |
80 mm²/min (πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού 1 μm) |
Μορφές εικόνων που υποστηρίζονται |
DXF, GDS, bmp, png, κ.λπ. |
Διαμόρφωση |
Βασική έκδοση |
Επαγγελματική έκδοση |
|
Πηγή φωτός |
Φωτεινή ισχυρή LED: 405nm |
||
Chip DMD |
DLP6500 |
||
Περιοχή έκθεσης μεμονωμένου πεδίου |
0,16*0,16 mm (@0,5 μm), 0,4*0,4 mm (@0,7 μm), 0,8*0,8 mm (@1 μm), 1,6*1,6 mm (@2 μm) |
||
ΚΑΜΕΡΑ |
Κάμερα μικροσκοπίου μεγάλης περιοχής (υποστηρίζει μέτρηση μεγέθους) |
||
Ελάχιστο πλάτος ισαπέχουσας γραμμής |
0.8 µm |
0.5μm |
|
Ακρίβεια σύνδεσης |
±0,3 µm |
±0,3μm |
|
Ακρίβεια επικάλυψης |
±0,5 µm |
±0,5μm |
|
Ταχύτητα εγγραφής |
20 mm²/min (πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού 1 µm) |
80 mm²/min (πλάτος γραμμής χαρακτηριστικού 1μm) |
|
Στάδιο κίνησης |
Υψηλής ακριβείας γραμμικός κινητήρας (επαναλήψιμη ακρίβεια προσδιορισμού θέσης ±0,25µm), μηχανισμός εξισορρόπησης, στροφικό στάδιο χειρός |
Ακριβής γραμμικός κινητήρας (επαναλαμβανόμενη ακρίβεια ευθυγράμμισης ±0,25 µm), μηχανισμός εξισορρόπησης, ηλεκτρική περιστρεφόμενη βάση |
|
Μεταλλάκτης φακών αντικειμένου |
Χειροκίνητη εναλλαγή φακών αντικειμένου |
Ηλεκτροκίνητη εναλλαγή φακών αντικειμένου |
|
Μονάδα εστίασης |
Αυτόματη εστίαση εικόνας CCD |
Ενεργή λέιζερ εστίαση |
|
Υποστηριζόμενα μεγέθη υποστρωμάτων |
4 ίντσες |
4 ίντσες/8 ίντσες |
|
Πάχος δείγματος |
0-10χιλ |
0-10 mm |
|


















Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος