


Размер на wafer |
4”~ 8” таблетка |
Толщина на таблетката |
100~750 микрона |
Вид таблетка |
Si, SiC, GaN или други материали |
Тип филм |
Синя плевка, УФ плевка Широчина: 230 ~ 300 мм Дължина: 100 м Дебелина: 0.05 ~ 0.2 мм |
Кръг за пренос на кристали |
6”, 8” DISCO |
Метод за зареждане и изваждане |
Ръчно поставяне и премахване на кристал/кръг |
Прегласност при позиционирането на плевката |
±0.5мм Стандартни таласи за 6” и 8” за таласи от 6” и 8” |
Вакуумна помпа |
Minder-Hightech |
Антистатичен контрол |
Деионизационен вентилатор |
Контролна единица |
Базиран на PLC контрол, с 10” държателен екран |
Защитна безопасност |
Конфигуриран с защита чрез световна завеса и бутон за аварийна спирка |
Напрежение на източника за электропитание |
Еднофазова алтернативна токова 220В, 16А |
Сжат въздух |
0.45~0.6МПа, приток 70Л/мин |
Корпус на машина |
Бял пластмасен метален корпус |
Обем |
850мм (широчина)*1750мм (дълбочина)*1970мм (височина) |
Нетно тегло |
480кг |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved