MDHS-AL8 8" Пълноавтоматичен едностраничен литографски апарат , China MDHS-AL8 8" Пълноавтоматичен едностраничен литографски апарат Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

MDHS-AL8 8" Пълноавтоматичен едностраничен литографски апарат

1. Режим на работа: Роботът за зареждане автоматично зарежда плочи от A-B (възстановяем) кутия за плочи до предварителната позиция

работен плот и чрез корекцията на позиционирането на камиращата плоча и автоматичната система за въртене се постига предварителното позициониране на плочата; Роботът за зареждане след това зарежда предварително позиционираните плочки на работния плот за подравняване. Чрез компютърна идентификация на изображения и корекция на системата за автоматично подравняване може да се постигне автоматичното подравняване на графики между маската и плочите. Ето защо е възможно да се извърши едно разсейване без подравняване на графиките. След автоматично разсейване от системата за прекомерно разсейване, роботът за изтегляне автоматично слага плочите в C-D (повторно употребим) кутия за плочки.
2. Разсейвана площ: 160 × 160мм;
3. Неравномерност на разсейваната светлина: ≤ 3%;
4. Интензивност на разсейване: 0~≥ 40мВ/см² регулируема (лъчов ъгъл 2°);
5. УВ лъчов ъгъл: ≤ 3°;
6. Централна дължина на вълна на ултравиолетовия лъч: 365нм;
7. Живот на УВ източника: ≥ 20000 часа;
8. Възможност за разделение: 0~≥ 1000мк регулируема;
9. Точност при подравняване: ≤ ± 1.5 мк;
10. Точност на експозицията: Контактна експозиция ± 1 μm. Приближена експозиция с разделение от 20 μm, ъгъл на лъч 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Методи за експозиция: твърд контакт, мек контакт и приближена експозиция;
12. Режим на експозиция: Можете да изберете между единовремена експозиция или офсетова експозиция
13. Предварителна система за образуване на изображение и автоматичен систем за въртене (включва предварителна работна маса): ъгъл на въртене Q ≥ ± 180 °, точност на въртенето Q ≤ 0.01 °;
14. Система за образуване на изображение и автоматично подравняване (включва UVW работна маса за подравняване): диапазон на подравняване X Y ≥ ± 5mm, ъгъл на въртене Q ≥ ± 3 °, и двата обектива на микроскопа се контролират от две XYZ електрически платформи.
15. Размер на маска: 5 "× 5" и 7" × 7 ";
16. Размер на кристалната пластинка: 4 "и 6";
17. Вериги за хранене на филми горе-долу: двойни работни места;
18. Въздушни възглавници за подушка
19. Двойна ръка за роботно бръscане и зареждане: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Брой на ваферите в ваферната кутия: определя се според броя ваferи в клиентската ваферна кутия;
21. Подигане на позиционния мас: Z ≥ ± 25mm;
22. Експозиционно време: регулируемо от 0 до 999,9 секунди;
23. Производствен ритъм: >120 парчици на час;
24. Електроподхранване: единофазово AC220V 50Hz, енергопотребление ≤ 3KW;
25. Чист въздушен притиск: ≥ 0,4MPa;
26. Вакуум: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Размери: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Тегло: Приблизително 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Тази машина се състои от ултравиолетова експозиционна глава с LED, система за образова разпознаване и автоматичен завъртане, предварително позициониран работен мас, системи за образово разпознаване и автоматично подравняване, подравняващи работни масове, роботи за зареждане, роботи за изваждане, стойки и електрическо управление, състоящи се от оборудване, запасни части и др.

Спецификация

1. Экспозиционна глава: Една LED ултравиолетова експозиционна глава (365нм);
2. Работен стол за образово разпознаване и предварително подравняване:
1) 1 камера (1.3 милиона пиксела)
2) Фиксатор за централно подравняване
3) 1 комплект въртящ платформа (с използване на сервомотор)
4) 1 комплект систем за подравняване
3. Система за образово разпознаване и автоматично подравняване:
1) 2 камери (5 милиона пиксела с висок частотен ред)
2) 2 линзи (4x високоразрешителни линзи)
3) Един индустриален компютър
4) Един контролер (управлявам от ПЛК)
5) Една комплекта на платформата за подравняване (използва 5-фазен стъпков мотор)
6) Комплект спортивна система
7) Устройството за горната плоча използва мотор за надигане и спускане
7) Програмното обеспечение използва най-новата версия на LabVIEW Professional Edition
4. Механическа ръка за зареждане и разтоваряване:
1) X Y. Комплект Z автоматично движещ механизъм
2) Двойна роботична ръка (ръци за зареждане и разтоваряване)
5. Механизъм за закрепяване на табли с wafer:
1) AB е фиксираното позициониране на кутията за хранене
2) CD е фиксированото позициониране на кутията за рязане на плевка
3) G е фиксированото позициониране на кутията за плевка в NG позиция
6. Камера с фиксирана платформа:
7. Две групи Y.Z електрически регулиращи механизми (управляеми от сервомотори)
8. Ред и електрическа конзола за управление:
1) 1 индустриален компютър
2) Една група от PLC;
3) Една група електромагнитни клапани и системи за управление
4) Група цифрови пневматични инструменти
5) Една група управляваща конзола
8. Запасни приспособления:
1) Трахеален: 15 метра
2) 2 соленоидни клапа
3) Вакуумна помпа: 1 единица
9. Технически данни:
1) Една потребителска ръководство
2) Един сертификат за съответствие
10. Допълнително
Програмното осигурение на оборудването трябва да бъде укомплектовано с протокол за комуникация SECS, а покупателят предоставя динамична библиотека с функцията за свързване с MES системата на покупателя, автоматично записвайки номера на продуктната серия, номера на работата и операционния статус и качващи ги. Едновременно тя разполага с функцията за идентифициране на QR кода на маската, сравняване му с QR кода на маската в MES системата и предотвратяване на взимането на грешна маска.

Упаковка и доставка