Маскиран aligner Машина за фотолитография , China Маскиран aligner Машина за фотолитография Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продуктите

Маскиран aligner Машина за фотолитография

Маска Наравнявачът е известен също като: маска за наравняване и разкриване, система за разкриване, система за литографиране и т.н., която е основното оборудване за производство на чипове. То използва технология, подобна на фотографично отпечатване, за да отпечата тонките образци от маската на силиконовата плоча чрез светлинно разкриване.

Характеристика

——Висока равномерност на разкривателната глава с fly-eye / механизъм за нивелиране с въздушно плуване / надежден вакуумен зажим за разкриване.
——Предходната характеристика гарантира високото разрешение и високата равномерност.
——Методът за съвместяване чрез маска поддържа стабилността и подаването на субстрат, което гарантира последователността на водещата гравитация и силата.
——Използване на безщелистен правоъгълен ръководител, с висока точност и бърза скорост.

Производството на системи за високоточно съвместяване изисква почти съвършено прецизно механическо обработване. Друга техническа проблема на системата за съвместяване е микроскопът за съвместяване. За да се увеличи полето на видимост на микроскопа, много висококласни литографски машини използват осветление с LED. Има две системи за съвместяване с функция за фокусиране. Това се състои главно от два окъл и два поля за видимост, насочени към тялото на микроскопа, по един двойник и по един обектен лещ (литографските машини обикновенно предлагат двойници и обектни лещи с различно увеличение за потребители). Функцията на CCD системата за съвместяване е да увеличи марките за съвместяване на маската и пробия и да ги изобрази на монитора.
функцията на системата за съвместяване с CCD е да увеличи марките за съвместяване на маската и пробата и да ги изобрази на монитора.

Спецификация

Производител	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech
Модел	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31	MD-G33
Експозиционна глава НЕ.	1 Експозиционна глава	1 Експозиционна глава	2 Експозиционни глави	2 Експозиционни глави
Вид източник на светлина	Източник на ртутна лампа	Ултравиолетов източник	Източник на ртутна лампа	Ултравиолетов източник
Експозиционна площ	≤∅100mm	φ100mm	≤∅120mm	≥∅115мм
Режим на експозиция	Контактен излъчване	технология за микропаралелни сили	технология за микропаралелни сили	технология за микропаралелни сили
Нееднородност на експозицията	∅100мм<±4%	≤±3%	∅100мм≤±6%	≤±3% Интензитет на експозиция ≥20мВт/см²(365нм, 404нм,435нм Комбиниран УФ
Толщина на субстрата	1-5мм	≤5 мм	0.1-1мм	≤5 мм
Разрешаваща способност на експозицията	3μm	1 μm	5 μm	1 μm
Обхват на осветляване	∅115мм	∅120мм	∅120мм	∅130mm
Камера Система	Система за разделение на бинокуларите	двойна система с CCD	двойна система с CCD	двойна система с CCD
Микроскопна система	непрекъснато увеличение 50-375	91x ~ 570X непрекъснато увеличение (обектен лещ 1.6x ~ 10x непрекъснато увеличение), диапазонът на регулиране на разстоянието между двата обектни леща е 50мм ~ 120мм	0.7-4.5 непрекъснато увеличение	60x, 120x непрекъснато увеличение (обектно увеличение 2x, 4x два), двойно обектно регулиране на разстоянието 25мм-70мм

Фирмен профил

Minder-Hightech е представител за продажби和服务 в индустрията на оборудването за полупроводникови и електронни продукти. От 2014 г., компанията се стреми да предоставя на клиентите си превъзходни, надеждни и всеобхватни решения за машинно оборудване.

ЧЗВ

1. За цена:
Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:
Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. За плащане:
След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

4. За доставка:
След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:
След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:
Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.