 
  
| Зърнеста плоча  | Размер  | Инчове  |  4,5,6,8 | 
| Касета за плочки  | Номер    |  - |  2 | 
| Лъжеещият начин  |  - | Вертикално погружно зърнесто метод  | |
| Вал на зърнестото колело  | Типове  |  - | Въздушни подлаги  | 
| Количество  |  - |  2 | |
| Скорост  | об/мин    |  0~5000 | |
| Изходна мощност  | KW    |  5.5/7.5 | |
| Ход  | мм    |  150 | |
| Скорост на подаване  | ум/с  |  0.01~100 | |
| Скорост на ускорен превод  | mm/min    |  300 | |
| Резолюция  | um    |  0.1 | |
| Оста на деталта  | Тип  |  - | Кугелни лежайки  | 
| Количество  |  - |  3 | |
| Тип Сасактивна Чаша  |  - | Микропорозен керамичен материал  | |
| Метод за притегляне на wafer  |  - | Вакуумна абсорбция  | |
| Скорост  | об/мин    |  0~300 | |
| Трансфер на wafer  |  - | Ръка на робот  | |
|  - | Завъртяващ диск  | ||
| Други функции  | Центриране на wafer  |  - | Подравняване на мобилни пинове  | 
| Очистване на wafer  |  - | Очистване с вода и въздух, центрифужно изсъхване  | |
| Чистене на всмукателните чашки  |  - | Очистване с абразивна пластинка  | |
| ШЛИФОВКА  | мм    | φ200  | |
| НА ЖИВО    измерване | Диапазон на измерване  | um    |  0~1800 | 
| Резолюция  | um    |  0.1 | |
| Повторете точността  | um    |  ±0.5 | |
| Обработка  точност | Вътрешна точност на плоча (TTV)  | um    |  ≤2 | 
| Междуплочна точност (WTW)  | um    |  ±3 | |
| Повърхностна грубост (Ry)  | um    | 0.13(2000#finish)  | |
| Външен вид  | Оцветяване на външния вид  | um    | Оранжево подобие  | 
| Размери(Ш×Д×В)  | мм    |  1200×2750×1950 | |
| Тегло  | кг    |  4200 | 










Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved