Въведение:
Това оборудване е уред за нанасяне на покрития чрез магнетрон с две цели. То е оснащено с два магнетронни мишени и две комплекта постояннотокови източници на захранване. Може да се използва за нанасяне на многослойни проводими метални филми. Едновременно с това оборудването се състои от две части: основна камера и преходна камера. Преходната камера е оснащена с магнитен тласъчен прът, а между двете камери е инсталиран вакуумен шлюзов клапан. Потребителят може да зарежда пробите в преходната камера и да извършва предварително евакуиране, докато протича разпрашването в основната камера. След като разпрашването в основната камера приключи, пробата може да бъде тласната към стадията за проби в основната камера чрез магнитния тласъчен прът. Тази конструкция намалява броя на циклите на евакуиране и разтоварване на основната камера, което не само ефективно спестява време, но и осигурява по-добро локално вакуумно състояние и значително подобрява качеството на нанасяното покритие.
Приложение:
Може да се използва за подготовката на еднослоеви или многослойни тънки фероелектрични филми, проводими филми, сплавни филми, полупроводникови филми, керамични филми, диелектрични филми, оптични филми и др.