Подчертаване
Въведение: Това оборудване е магнетронен уред за нанасяне на покрития с две цели. То е оснащено с два магнетронни електрода и два комплекта постояннотокови източници на захранване. Може да се използва за нанасяне на многослойни проводими метални филми. В същото време оборудването се състои от две части: основна камера и преходна камера. Преходната камера е оснащена с магнитен тласъчен прът, а между двете камери е инсталиран вакуумен шлюзов клапан. Потребителят може да зарежда пробите в преходната камера и да извършва предварително евакуиране, докато протича разпрашаването в основната камера. След като разпрашаването в основната камера приключи, пробата може да бъде втласната чрез магнитния тласъчен прът върху стадиото за проби в основната камера. Тази конструкция намалява броя на циклите на евакуиране и разтоварване на основната камера, което не само спестява ефективно време, но и осигурява по-добра локална вакуумна среда и значително подобрява качеството на нанасяното покритие.
Приложение: Може да се използва за подготовката на еднослоеви или многослойни тънки фероелектрични филми, проводими филми, сплавни филми, полупроводникови филми, керамични филми, диелектрични филми, оптични филми и др.