Подчертаване
Въведение:
Двуетапният магнетронен напластяващ уред с магнетронно разпрашване е лабораторен уред, разработен специално от нашата компания. Уредът може да бъде оснастен с постояннотоков източник на захранване и с радиочестотен (RF) източник на захранване, като мощността варира от 500 W до 1000 W. В сравнение с обикновеното плазмено разпрашване, магнетронното разпрашване има предимствата на висока енергия и висока скорост, висок коефициент на напластяване и ниско повишаване на температурата на пробата. Това е типичен метод за бързо и нискотемпературно разпрашване. Магнетронната цел е оборудвана с водно охлаждана междинна слой. Водният охладител ефективно отвежда топлината и предотвратява натрупването ѝ върху повърхността на целта, така че магнетронното напластяване може да работи стабилно в продължение на дълго време. Уредът е компактно проектиран, за да се постигне баланс между обем и производителност, с привлекателен външен вид и всеобхватни функции. Целият уред се управлява чрез сензорен екран и е снабден с вградена програма за напластяване с едно натискане на бутон, което го прави прост и лесен за работа. Това е идеалният уред за подготовката на тънки филми в лаборатория.
Приложение: Може да се използва за подготовката на еднослоеви или многослойни тънки фероелектрични филми, проводими филми, сплавни филми, полупроводникови филми, керамични филми, диелектрични филми, оптични филми и др.