Въведение:
Това оборудване се състои главно от вакуумна камера от неръждаема стомана, магнетронен напластяващ целеви елемент, устройство за изпарително напластване, пробна маса за поставяне на пробите, вакуумна помпена установка, вакуумен измервателен уред, система за подаване на въздух и система за управление. Основният блок на оборудването се управлява чрез докосваем екран и се контролира чрез температурен регулатор. Неговият цифров параметричен интерфейс и автоматизираната работа предоставят на потребителите отлично платформа за научни изследвания и разработки. Вакуумната камера има конструкция с целеви елемент в долната част, а пробната маса разполага с функции за нагряване и въртене, които осигуряват по-равномерен ефект от напластването. Системата за създаване на вакуум в това оборудване използва двустепенна група вакуумни помпи. Първата степен е високоскоростна механична помпа, която ефективно намалява времето от атмосферно на ниско вакуумно налягане. Основната помпа е турбомолекулярна помпа с висока скорост на отсмукване и по-бързо създаване на вакуум. Цялата система за създаване на вакуум е чиста и бърза.
Приложение:
Може да се използва за подготовката на еднослоеви или многослойни тънки фероелектрични филми, проводими филми, сплавни филми, полупроводникови филми, керамични филми, диелектрични филми, оптични филми и др.