Система за прецизно химическо-механично полирване (CMP)

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Система за прецизно химическо-механично полирване (CMP)

Общ преглед на оборудването:

Системата за прецизно химическо-механично полирване (CMP) се използва предимно за шлифоване и изтъняване на основни полупроводникови чипове, като кремний, кремниев диоксид и фокални равнинни чипове от индий-антимонид, както и за химическо-механично полирване на дъно, повърхност и торец.

Цялата машина и всички компоненти на оборудването са напълно корозионноустойчиви, а технологичните параметри се задават чрез интерактивен сензорен екран.

Размер на обработвания пробен образец:

Размер на образеца ≤152 mm / 6 инча

Обработваема дебелина: 50 μm – 10 mm

Постигнати технологични показатели:

1. Обща девиация на дебелината (TTV) за фолио с диаметър φ75 mm е в рамките на 2 μm;

2. Обща девиация на дебелината (TTV) за фолио с диаметър φ100 mm е в рамките на 3 μm;

3. Обща девиация на дебелината (TTV) за фолио с диаметър φ150 mm е в рамките на 4 μm.

Типове проби, които могат да се обработват:

Кремний, карбид на кремния, диамант, керамика, нитрид на галия, кварц, антимонид на галия, фосфид на индий, арсенид на галия, телурид на кадмий-цинк, телурид на живак-кадмий, ниобат на литий и други полупроводникови материали.

Характеристики на оборудването:

1. Осъществяване на функция за детектиране на крайната точка за контрол на дебелината на пробата.

2. Онлайн реалновременен контрол на температурата и охлаждане на шлифовъчната и полиръчна плоча.

3. Многоканална система за подаване на материал.

4. Автоматична функция за изплакване на шлифовъчната и полиръчна плоча.

5. Автоматична функция за възстановяване на плочата.

6. Приспособлението е оборудвано с цифрова маса за мониторинг на дебелината с точност на мониторинга 0,1 μm.

Технически параметри:

Настройка на устройство:

Често задавани въпроси

1. За цена:

Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:

Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. Относно плащането:

След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

4. За доставка:

След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:

След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:

Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

7. Следпродажбено обслужване:

Всички машини имат гаранционен период от над една година. Наши инженери по техническата поддръжка винаги са на линия, за да осигурят услуги по инсталация, пуско-наладка и поддръжка на оборудването. Можем да осигурим инсталация и пуско-наладка на място за специално и голямо оборудване.