Машина за чистене с микровълнов плазма / Устройство за обработка на повърхност с микровълнов плазма , China Машина за чистене с микровълнов плазма / Устройство за обработка на повърхност с микровълнов плазма Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Уред за микроволново плазмено очистване

За предварителна обработка при съединяване на полупроводникови чипове, предварителна обработка на пластмасова упаковка, премахване на фоточувствително покритие и метално съединяване.

Това е система за микроволново плазмено очистване при ниско напрежение за полупроводниците. Чрез прилагането на микроволни с честота 2,45 ГХц към прозореца в стената на вакуумната камера се генерират големи количества непрекъснато Плазма, а чиповете се очистват, като влизат в камерата.

Преимущества

1. Плазмата е неелектрически заредена и няма да причини щети на циркуите
2. Запазете температурата ниска по време на процеса на обработка
3. Бърза реакция и кратко време за отговор
4. Няма електроди, няма източници на замърсяване, дългоживеен
5. Може да поддържа плазма при високо налягане
6. Микровълновите възли и магнитните кръгове са съвместими
7. Ниски изисквания за самоподнасящо се напрежение
8. Високонапрегнатият източник и генератор са изолирани един от друг за безопасност
9. Суха етчинг, няма пOLLution source

Приложение

Предварителна обработка за чиповска сварка
Предварителна обработка за метална сварка
Предварителна предобработка преди пластмасово заплътване
Активация на повърхността на кръгчетата

Двуполна технология с подаване на енергия Микровълни + Радиочастотен Бiais:

Микровълните постигат отличен темп на размяхване и равномерност (размяхване на фоторезистентност), докато радиочастотния биас осигурява насочена кинетична енергия за движение на плазмата. Двуполната технология с подаване на енергия повишава ефективността и резултата при размяхването и етчинга на полупроводници.

Спецификация

Вакуумен плазмен хост
Размер на оборудването	1230X1800X1100mm (широчина x височина x дълбочина)
Тегло	450kg
Мощност на търсенето	AC380V, 50/60Hz, 5-жил, 30A
Спецификации на плазмен генератор
Пълнител за микровълнова енергия	Мощност	0~1250W
		Честота	2.45GHz
Вакуумна система
Материал	Алюминиев сплав (по желание камера от неръжавеща оцел)
Дебелина	25mm
Вътрешни размери на каверната	480mmX470mmX480mm
Работни пространства	6 магазинни секции
ECR	Слотовият магазин осигурява подобрено ECR ефект при обработката
Възможности за плазма
Възможности за обработка	35микронов Разстояние 40μм Вдигнала се част 15X15mm Максимален Размер на Чипа

Упаковка и доставка

Изглед от фабриката

Фирмен профил

Minder-Hightech е представител за продажби和服务 в индустрията на оборудването за полупроводникови и електронни продукти. От 2014 г., компанията се стреми да предоставя на клиентите си превъзходни, надеждни и всеобхватни решения за машинно оборудване.

ЧЗВ

1. За цена:
Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:
Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. За плащане:
След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

4. За доставка:
След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:
След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:
Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.