MDZY-DMD-MLL200 DMD Безмаскова литографска машина , China MDZY-DMD-MLL200 DMD Безмаскова литографска машина Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

MDZY-DMD-MLL200
DMD Безмаскова литографска машина

MDZY-DMD-MLL200 е безмаскова литографска машина, базирана на DMD (Digital Micromirror Device) технология. Чрез замяна на традиционните маски с DMD устройство, тя осигурява бързо и гъвкаво проектиране на литографски модели, поддържащи 2D и 8-битова градиентна литография. Може да отговаря на всички изисквания за литография в микронов диапазон и се използва широко в различни области като MEMS и микротечения.

Характеристики

1. Компактна настолна конструкция
2. Високомощен, високоуниформен LED източник за експониране
3. Зелена светлина за насочено експониране
4. Автоматично фокусиране на изображението чрез CCD камера
5. Високоточна линейна моторна маса
6. Лесен за използване софтуерен интерфейс

Параметри

Център на вълновата дължина на UV източника	405nm
Еднородност на експонирането	Над 90%
Минимална широчина на чертите	0.5um
Площ на експониране при единично записване	0.16*0.16mm (@0.5um)
Скорост на записване	80 mm²/min (1um ширина на линията на чертежа)
Поддържани формати на изображения	DXF, GDS, bmp, png и др.

Конфигурация

Конфигурация	Базова версия	Профессионална версия
Източник на светлина	Високомощен LED: 405nm
DMD чип	DLP6500
Площ на еднополюсно експониране	0,160,16mm (@0,5um), 0,40,4mm (@0,7um), 0,80,8mm (@1um), 1,61,6mm (@2um)
КАМЕРА	Камера за микроскоп с голяма област (поддържа измерване на размери)
Минимална ширина на еквидистантни линии	0.8 µm	0.5μm
Точност на шейване	±0,3 µm	±0,3μm
Точност при наслагване	±0,5 µm	±0,5 μm
Скорост на записване	20 mm²/min (линейна ширина на структура 1 µm)	80 mm²/min (линейна ширина на структура 1 μm)
Движеща се платформа	Високоточен линеен двигател (повтаряема точност на позициониране ±0,25µm), механизъм за нивелиране, ръчна въртяща се платформа	Високоточен линеен мотор (повтаряема точност за позициониране ±0,25 µm), механизъм за нивелиране, електрическа въртяща се платформа
Превключвател на обективи	Ръчно превключване на обективи	Моторизирано превключване на обективи
Модул за фокусиране	Автоматично фокусиране чрез CCD изображение	Лазерно активно фокусиране
Поддържани размери на пластинки	4 инча	4-инчови/8-инчови
Дебелина на пробата	0-10 мм	0-10 мм

Случаи на прилагане

Микрофлуиден чип

DMD UV литография за функция на овърлей

Травене на телурен нанорешетък, последвано от овърлей на електроди

Сивошкална литография на обективи на Френел, 3D сивошкална литография за обективи на Френел, показващи непрекъснати стъпаловидни промени в напречното изображение от сканиращия електронен микроскоп.

Електроди от двумерни материали, електроди от двумерни материали след изпарение и отделяне, изпарените електроди са Ti/Au/Ti (общо 12 нм)

Комбинирана DMD UV и електронно-лъчева литография

Софтуер

Потребителите могат да извършват всички литографски операции от основния интерфейс, без никакви изскачащи прозорци.

Модул за отрязване на изображение:

Включва функции като персонализирано обрязване, автоматично запълване, инверсия на цветовете и антиалиasing.

Свързване на обекти:

Потребителите могат да задават връзки с обекти във всяка точка от повърхността на образеца и едновременноно да преглеждат съответствието между всеки подизображение в пълното поле и повърхността на образеца, което позволява прецизно наслагване.

Функция за директно чертане:

Графиките могат да се чертаят директно върху микроскопското изображение и да се проектират върху образеца, за да се постигне директна фотолитография.

Оборудване за реални снимки

Упаковка и доставка

Фирмен профил

От 2014 г. насам, Майндер-Хайтек е представител в областта на продажбите и сервизното обслужване на оборудване в индустрията на полупроводниците и електронните продукти. Ние се стремим да осигуряваме на клиентите по-добри, надеждни и комплексни решения за машинното оборудване. До днес продуктите на нашия бранд са се разпространили в основните индустриални държави по света, помагайки на клиентите да подобрят ефективността, да намалят разходите и да подобрят качеството на продуктите.

ЧЗВ

1. За цена:
Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:
Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. За плащането:
След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

4. За доставка:
След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:
След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:
Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

7. Следпродажбено обслужване:
Всички машини имат гаранционен период от над една година. Наши инженери по техническата поддръжка винаги са на линия, за да осигурят услуги по инсталация, пуско-наладка и поддръжка на оборудването. Можем да осигурим инсталация и пуско-наладка на място за специално и голямо оборудване.

Начало

За Нас

Оборудване MH

Решение

Потребители От Заграница

Видео

Контактирайте Нас

MDZY-DMD-MLL200 DMD Безмаскова литографска машина