Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Поръчай оферта

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Начална страница
За Нас
Оборудване MH
Решение
Потребители От Заграница
Видео
Свържете Се с Нас
Начало> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP
  • MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP
  • MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP
  • MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP

MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP

Модел: MDICP-5000F

Получете безплатна оферта
MDICP-5000F Пълноавтоматична машина за етчинг с ICP
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Екзекутивен резюме:

Оборудването е двубутиков вакуумен систем. Единият бут е инжекционната проба, а другият е етчинговият бут. Между инжекционната проба и етчинговият бут е инсталиран вакуумен замък, който превози пробите чрез манипулатор.
Оборудването се състои предимно от вакуумна система, газова система, електрическа система, контролна система, охлаждаща система, механизми за подаване и прием на филм, сигнален систем и др.

Вакуумна система:

Системата се състои от молекулен насос с производителност 600 Л/с + импортен вакумен сух насос с производителност Л/с, които пумпват етчинговата камера до висок вакуум. Между молекуления насос и етчинговата камера е инсталиран електричен регулатор на даванието. Импортният сух насос е предварителният насос на етчинговата камера и първият насос на молекулярния насос. Използва се друг механичен насос с производителност Л/с за вакуумиране на пробната камера. За свързване между механичния насос, вакуумната камера и молекулярния насос се използват нержавещи метални бели. Инсталиран е електромагнитен пневматичен блок-кран.

Система за константно управление на даванието

Оборудването е укомплектвано с система за регулиране на постоянн постоянното налягане в долния поток, а в пиплайнът за извличане на въздух е инсталиран elektricески регулируем клапа. Чрез измерването на филмовия манометър (импортни части) се контролира регулируемият клапа, за да се достигне постоянното налягане в вакуумната камера, което подобрява процесната стабилност.

Система за константно управление на даванието

Оборудването е укомплектвано с система за регулиране на постоянн постоянното налягане в долния поток, а в пиплайнът за извличане на въздух е инсталиран elektricески регулируем клапа. Чрез измерването на филмовия манометър (импортни части) се контролира регулируемият клапа, за да се достигне постоянното налягане в вакуумната камера, което подобрява процесната стабилност.

Газова система

Две комплекта РЧ питание с автоматично съобразяване.

Система за сигнализиране

Охранни изисквания за оборудването.
Спецификация
Име
Спц
Бранд
Номер/Комплект
Забележка
Ерозионна камера, пиплайн за извличане на въздух, наблюдателно прозорче, резервен интерфейс и т.н.
Стандартните
JSWN
1
Антikорозионен
Рама, електрическа кабина, пломби, стандартни части и тн.
Стандартните
JSWN
1
Система за издигане на покривката на камера за етчинг
Стандартните
JSWN
1
Антikорозионен
Електрод за етчинг и система за охлаждане
Стандартните
JSWN
1
Антikорозионен
Молекулен насос (със скорост на откачване 600 Л/с)
FF620/150
KYKY
1
Антikорозионен
Входен сух насос (със скорост на откачване 9 Л/с)
XDS-35I
Едуардс
1
Антikорозионен
Механичен насос (със скорост на откачване 9 Л/с)
TRP-36
BWVAC
1
Електрическа регулираща врата-клапан
DCQ-150
JSWN
1
Антikорозионен
Пневматичен мешан клапан за спиране
KF40
JSWN
3
Антikорозионен
Филмов състав
KF16
INFICON
1
Антikорозионен
Контролер за масов поток
D07
Sevenstar
4
Антikорозионен
Пневматичен мембранен клапан
1⁄4″VCR
-
4
Антikорозионен
Стainless steel pipe, pipe joint, etc
1⁄4″VCR
-
4
Антikорозионен
RF мощностно осигуряване / автоматично съвпадение
-
Китай(ОпционаленCROWN1310)
1
RF мощностно осигуряване / автоматично съвпадение
-
Китай(ОпционаленCROWN1310)
1
Композитен вакуумен манометър
ZDF
RB
1
Ipc
2U
Китай
1
LCD сензорен екран
17 инча.
Китай
1
Система за управление с PLC
S7-200
Сименс
1
Система за управление на електрическия двигател
Стандартните
JSWN
1
Система за детекция на охлаждаща вода и пipelines
Стандартните
JSWN
1
Система за детекция на компресиран въздух и пipelines
Стандартните
JSWN
1
Машина за охлаждане с циркулираща вода
HX
Китай
1
Камера за инжекция при етчинг
Стандартните
JSWN
1
Вакуумен замък
SMC
SMC
1
Система за управление на манипулятор
SMC
SMC
1

Технически параметри по имейл

1. Граница на вакуума: Етчинг камера 9.0×10-5Па (Вътрешна влажност≤55%)
Камера за инжекция и проби 6.0×10-1Па
2. Етчинг материал: Ⅲ,Ⅴ Материал, Si, SiO2 и т.н.
3. Скорост на етчинг: ~ 1μ/мин
4. Еднородност на етчинг: ≤±5％(обхват φ125mm)
6. Размер на електрода: φ200mm

Често задавани въпроси

1. За цена:

Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

 

2. За проба:

Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

 

3. Относно плащането:

След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

 

4. За доставка:

След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

 

5. Инсталиране и настройка:

След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

 

6. За гаранция:

Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

 

7. Следпродажбено обслужване:

Всички машини имат гаранционен период от над една година. Наши инженери по техническата поддръжка винаги са на линия, за да осигурят услуги по инсталация, пуско-наладка и поддръжка на оборудването. Можем да осигурим инсталация и пуско-наладка на място за специално и голямо оборудване.

Още продукти

Заявка

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Политика за поверителност

Заявка Email Whatsapp WeChat
Най-висш
×

Свържете се с нас