Характеристики на оборудването
1. Това оборудване е проектирано за лазерно фрезоване на висококачествени полупроводникови пластина.
2. Оснащено е с лазер, импортиран от Съединените щати, който осигурява изключителна стабилност по време на лазерното фрезоване.
3. Включва антиинтерферентна, високоточна XY-стадия с линеен двигател и решетъчен мащаб, която ефективно намалява машинната интерференция върху продуктите.
4. Включва CCD камера с разрешение 12 мегапиксела за прецизно позициониране.
5. Разполага с ахроматична технология за визуализация и възможности за позициониране чрез разпознаване на образи.
6. Разполага с GPIB и други външни интерфейси за свързване на външни уреди за измерване или корекция на съпротивлението.
7. Мраморната основа осигурява отлична стабилност на машината.
Технически параметри
Модел |
MDSG-LT74 |
Лазерна дължина на вълната |
1064/355 нм |
Лазерна мощност |
6W/4W |
Типичен размер на локалното петно |
25-35μm |
Метод за фокусиране |
Автоматично, контролирано от компютърна програма. |
Метод за охлаждане |
Продукти за охлаждане с въздух |
Обхват на движението на лазерния лъч |
27 мм × 27 мм |
Резолюция на движение |
0.76μm |
Точност на повторно позициониране |
±2,5 µм |
Режим на движение |
Линеен двигател с решетъчен измервателен елемент, устойчив към интерференции |
Обхват на движение) |
300 мм x 300 мм |
Точност на повторно позициониране |
±1 µм |
Метод за измерване на съпротивлението |
четирижична методика за измерване |
Точност при измерване на съпротивление |
±0,02 % (средно съпротивление) |
Референтен диапазон за измерване на съпротивление |
0.1ω–50 МΩ |
Скорост на измерване |
4 µс/измерване |
Корекция на грешката при нулево и пълно отклонение |
Автоматично коригиране |
Дефиниция на пробника |
Програмиране на произволни настройки |
Интерфейс |
GPIB |
Размер на оборудването |
1430 x 913 x 1747 мм |
Тегло |
617 кг |
Работни условия (вода, електричество, газ) |
Влажност: <70 %; Електрозахранване: AC 220 V, 2,5 kW; Сгъстен въздух: <0,6 MPa, <40 л/мин |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved