Система за травиране с индуктивно свързана плазма (ICP) , China Система за травиране с индуктивно свързана плазма (ICP) Manufacturers, Suppliers, Factory

Система за етчинг с индуктивно свързан плазмен (icp)

Технологията за реактивно йонно етching с индуктивно свързване е вид RIE. Тази технология осигурява разграничаване на плътността на плазмените йони и енергията на йоните чрез независим контрол на йонния поток, което подобрява точността и гъвкавостта на процеса на етching.

Продуктовата гама с висока плътност за реактивно йонно травяне с индуктивно свързан плазмен процес (ICP-RIE) се основава на технологията с индуктивно свързан плазмен процес и е предназначена за прецизно травяне и травяне на сложни полупроводникови материали. Тя осигурява отлична стабилност на процеса и повторяемост на процеса и е подходяща за приложения в силициеви полупроводници, оптоелектроника, информационни и комуникационни технологии, силови устройства и микровълнови устройства.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Приложими материали:

1. Материали върху силициева основа: силиций (Si), силициев диоксид (SiO2), силициев нитрид (SiNx), силициев карбид (SiC)...

2. Материали от група III-V: индий-фосфор (InP), галиев арсенид (GaAs), галиев нитрид (GaN)...

3. Материали от група II-VI: кадмий-телурид (CdTe)...

4. Магнитни материали/съединения от сплави

5. Метални материали: алуминий (Al), злато (Au), волфрам (W), титан (Ti), тантал (Ta)...

6. Органични материали: фоторезист (PR), органични полимери (PMMA/HDMS), органични тънки пленки...

7. Фероелектрични/фотоелектрични материали: ниобат на лития (LiNbO3)...

8. Диелектрични материали: сапфир (Al2O3), кварц...

Свързани приложения:

1. Гравиране на решетка: използва се за 3D дисплей, микрооптични устройства, оптоелектроника и др.;

2. Травяне на сложни полупроводници: използва се за LED, лазери, оптична комуникация и др.;

3. Сапфирова подложка с шаблон (PSS);

4. Травяне на ниобат на литий (LiNO3): детектори, оптоелектроника;

Резултат от процеса

Етчинг на кварц / силиций / решетки

Използване на BR маска за етчинг на кварцови или силициеви материали, със засечково масивно образуване с най-малък линей до 300nm и страничен ъгъл на образуванията близо до > 89°, което може да се приложи в 3D дисплеи, микроделни оптични устройства, оптоелектронна комуникация и т.н.

Етчинг на съединения / полупроводници

Точен контрол на температурата на повърхността на пробата може да контролира добре етчинг морфологията на материали на база GaN, GaAs, InP и метални материали. Подходи за устройства с сини ледове, лазери, оптична комуникация и други приложения.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Етириране на силиконови материали

подходи за етчинг на силиконови материали като Si, SiO2 и SiNx. Може да реализира етчинг на силиконови линии над 50nm и дълбоко отворване на силикон под 100мкм

Спецификация

Конфигурация на проекта и диаграма на машинната конструкция

Артикул	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Размер на продукта	≤6 дюйма	≤8 дюйма	≤6 дюйма	≤8 дюйма	Поръчка≥12инча
Източник на енергия SRF	0~1000W\/2000W\/3000W\/5000W Настройяем, автоматично съвпадение\,13.56MHz\/27MHz
Източник на енергия BRF	0~300W\/0~500W\/0~1000W Настройяем, автоматично съвпадение,2MHz\/13.56MHz
Молекулен насос	Некорозен : 600 \/1300 (Л\/с)\/Поръчка			Антикорозионен:600 \/1300 (Л.\/с)\/Поръчка		600\/1300(Л\/с) \/Поръчка
Помпа Foreline	Механична помпа / суха помпа			Антикорозионна суха помпа		Механична помпа / суха помпа
Предварителна помпа	Механична помпа / суха помпа			Механична помпа / суха помпа
Процесно налягане	Нерегулирано налягане/0-0.1/1/10Torr регулирано налягане
Вид газ	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/По желание (До 12 канала, без корозионни и токсични газове)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ По желание (До 12 канала)
Газов диапазон	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/По желание
LoadLock	Да/Не			Да
Пробен температурен контрол	10°C~СтаянаТем~/ -30°C~150°C ~/Посочен			-30°C~200°C~/Посочен
Задно хелиево охлаждане	Да/Не			Да
Облицовка на процесната камера	Да/Не			Да
Температурен контрол на стените на камерата	Не/Стаяна температура-60/120°C			Стаяна температура~60/120°C
Контролна система	Автоматично/По желание
Етчинг материал	Силиконов основ: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Органични материали:PR/Органичен филм......			Силиконов основ: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Магнитен материал / сплавен материал Метални материали: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Органични материали: PR\/Органичен филм...... Глубоко етчване на силициум

Опаковка и доставка

Често задавани въпроси

1. За цена:

Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:

Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. Относно плащането:

След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

4. За доставка:

След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:

След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:

Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

7. Следпродажбено обслужване:

Всички машини имат гаранционен период от над една година. Наши инженери по техническата поддръжка винаги са на линия, за да осигурят услуги по инсталация, пуско-наладка и поддръжка на оборудването. Можем да осигурим инсталация и пуско-наладка на място за специално и голямо оборудване.

Начална страница

За Нас

Оборудване MH

Решение

Потребители От Заграница

Видео

Свържете Се с Нас