Модел: MDST-6100
ICP сухият плазмен ашер е подходящ за приложения като дескаминг (предварителна обработка и отстраняване на остатъци), отстраняване на полимери (PI, BCB, PBO) и отстраняване на фоторезист след йонно имплантиране; камерата побира проби с диаметър 8 инча (с възможност за съвместимост с 4-инчови и 6-инчови размери).
ICP суха плазмена система за отстраняване на фоторезист
ICP сухият плазмен ашер е подходящ за приложения като дескаминг (предварителна обработка и отстраняване на остатъци), отстраняване на полимери (PI, BCB, PBO) и отстраняване на фоторезист след йонно имплантиране; камерата побира проби с диаметър 8 инча (с възможност за съвместимост с 4-инчови и 6-инчови размери).
Външният вид на оборудването подлежи на непрекъснати подобрения и корекции; действително доставеното изделие е определящо.
Предимства:
Висока степен на йонизация и разлагане на плазмата
След плазмена обработка възпроизводимостта е висока
Сухо травиране, без източник на замърсяване
Контрол на налягането и температурата чрез бабочкови клапани
Може да поддържа плазма при високо налягане
Разделение на източника на високо напрежение и йонния генератор
Съвместимост между микровълновия възел и магнитната верига
Може да отговаря на изискванията на клиентите
Ниска температура по време на обработка
Бърза скорост на отговор и кратко време за отговор
Модел |
MDST6100 |
Източник на плазма |
радиочестота |
мощност |
1000W |
Област на приложение |
8 инча (съвместим с 4 или 6 инча) |
Размер на кутията |
25 Pieces |
Общо размери |
Д1696×Ш2170×В2146 мм |
Контрол на системата |
ПЛК |
Система за материална кутия |
Автоматичен |
Фактически снимки на оборудването:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
