Пълноавтоматична еднокристална машина за очистване на кръгове Очистващ апарат за кръгове
Характеристики на машината
Единична, двойна и четирийкова полости Силна производствена способност, която може да поддържа приложения като Wafer Start и процес на очистване Добра съвместимост на технологията между чиповете на оборудването
Области на приложение
Премахване на повърхностни частици от кремниеви и съставни пластина с диаметър 4–8 инча.
Технически параметри
кавитен за щетки с размер 4, 6 и 8 инча Скорост на Spinner до 4000 об. мин. Двуръчна камера за щетки, достъпна с методи за очистване като Brush, AS, JET, Megasonics Поддържа функция за течна очистка
LoadPort единица, зареждаща единица
LoadPort е зареждащата единица на този апарат
Може да извърши Wafer Mapping Оснарен с детектор за Wafer slide
Единица за трансфер на робот
Двубладен робот, опционален с вакуум или чаша от типа тава.
Единица за подравняване и объртане
Може да подравнява и локализира плоски ръбове Кристалната пластина може да бъде обърната, за да се изчисти задната част
Единица за чистене с щетка
Количество щеткови ръце * 2 Обработване на кристални пластини: Хватка или тип вакуум Щетка, AS, JET, Мегасоники режими за чистене, поддържащи фармацевтично чистене
1. Поддържа едновременно вход и изход на кристални пластини, както и режими за вход А и изход В 2. Поддържа чистене на фронта на камера A и задната част на камера B 3. Поддържа паралелно чистене на двойна камера
Описание на единицата за чистене
Както е показано на снимката Wafer е закрепен върху Spinner
Arm1&Arm2 могат да се използват заедно с различни методи за чистене описани по-рано, за чистене на wafers.
След чистенето, Spinner върти бавно с висока скорост, за да изсушка wafer
Единица за подравняване и объртане
Wafer може да се използва за резиденциални и нивелиращи цели
Wafer може да се обърне
Размер на оборудването: 160x150x220 (мм) Методи за зареждане и изтегляне: еднакво вход и изход&A вход и B изход Брой на чистящите единици: 2 Чистещи режими: Чистене, AS, JET, Мегасоникс методи за чистене, поддържащи фармацевтично чистене
Опаковка и доставка
Често задавани въпроси
1. За цена: Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.
2. За проба: Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.
3. За плащане: След потвърждаване на плана, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоките. След това, когато оборудването е готово и платите остатъка, ние ще го изпратим.
4. За доставка: След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.
5. Инсталиране и настройка: След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.
6. За гаранция: Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
