Партиден тип тръбна система за отстраняване на фоторезист от пластина / Система за ашинг на пластина

Оборудване за отстраняване на фоторезиста върху кремниеви пластина чрез радиочестотни вълни в партиден режим

Външният вид на оборудването подлежи на непрекъснати подобрения и корекции; действително доставеното изделие е определящо.

MDST-3300 е система за ашинг с микровълнова обработка в партиден режим, базирана на касети за кремниеви пластина, предназначена за приложения като отстраняване на фоторезист, дескаминг, почистване на кремниеви пластина, отстраняване на остатъци след мокри процеси, почистване на повърхностни остатъци от кремниеви пластина и отстраняване на остатъци след развиване. Свободно движещи се електрони генерират плазма, която действа върху фоторезиста върху повърхностите на кремниевите пластина, разположени в кварцовата касета вътре в камерата. Непрекъсната, високоплътностна плазма се генерира чрез прилагане на микровълнова енергия с честота 13,56 MHz към стените на вакуумната камера. Камерата побира кварцови касети за кремниеви пластина с диаметър от 4 до 8 инча.

MDST-2300 осигурява бързо и безповредно почистване чрез плазма. Системата постига този ефект чрез химични реакции между активираните радикали и фоторезиста върху повърхността на кремниевите пластина.

Принцип на функциониране:

Към процесния газ се прилага електрично поле, за да се йонизира в плазма. „Активните“ компоненти на плазмата включват йони, електрони, атоми, свободни радикали, видове във възбудено състояние (метастабилни състояния) и фотони. Обработката с плазма използва свойствата на тези активни компоненти, за да предизвика физически и химически реакции – като окисление, редукция, разкъсване на връзки, крослинкиране и полимеризация – и по този начин да промени повърхностните характеристики на пробата. Този процес оптимизира повърхностната производителност и постига цели като почистване, модифициране на повърхността и отстраняване на остатъци.

Предимства:

1. Гъвкави фиксиращи приспособления за продукти приемат кръгли пластина с неправилна форма;

2. Плазмата при ниска температура предотвратява термично повреждане на пластините;

3. Електрически неутралната плазма избягва електрическо повреждане на пластините;

4. Високо ефективният и равномерен плазмен изход осигурява ефективно отстраняване на фоторезиста;

5. Висока степен на йонизация и дисоциация на плазмата;

6. Сухият травиращ процес елиминира източниците на замърсяване;

7. Налягането и температурата се контролират чрез бабочков клапан;

8. Способност да поддържа плазма при високо налягане на газа;

9. Източникът на високо напрежение е отделен от йонния генератор;

10. Съвместим с микровълново свързване и магнитни веригови конфигурации.

Структура на продукта:

Системата за обработка на повърхността с плазма главно включва три части: вакуумна камера и вакуумна система, радиочестотен генератор и контролна система.

(А) Вакуумна камера и система за създаване на вакуум:

Вакуумната камера е монтирана неподвижно в рамката на шкафа и има отворими врати от двете страни, което прави поддръжката на вътрешната вакуумна камера и вакуумната система изключително удобна. Системата за създаване на вакуум се състои предимно от гофрирани тръби, KF-съединители и вакуумни помпи, като основен компонент е вакуумната помпа (група вакуумни помпи).

(Б) Радиочестотен генератор:

Радиочестотният генератор е оборудван с 1000 W захранващ блок за генериране на радиочестотна енергия, а микровълновата енергия се подава в кварцовата плазмена камера чрез устройство за съгласуване, за да се образува плазма.

(В) Контролна система:

Тази система използва промишлени дисплеи, промишлени контролни системи за персонални компютри и дизайн на интерфейса на китайски език. Контрол на процеса за оборудването: стартиране на вакуумния помпа -> отваряне на клапата с преграда -> постигане на зададеното вакуумно ниво -> въвеждане на процесния газ -> RF източникът генерира RF -> RF енергията се подава в камерата -> формиране на плазма в камерата -> работно време до нарушаване на вакуума -> завършване на работата. Оборудването е достъпно в два режима: автоматичен и ръчен.

Спецификации на продукта: