Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Поръчай оферта

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Начална страница
За нас
Оборудване MH
Решение
Потребители От Заграница
Видео
Контактирайте Нас
Начало> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)
  • Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)

Машинa за гравиране с реактивни йони (RIE)

Поръчайте безплатно оферта
Описание на продукта

RIE Маса за абразивно изравняване с реактивни йони

Изследователските приложения на машините за абразивно изравняване с реактивни йони в областта на производството на полупроводници и микронанообработката се отразяват предимно в обработката на наноразмерни структури, абразивното изравняване на нови материали, производството на сложни устройства и технологични пробиви в междудисциплинарните области. Нейната основна стойност се състои в постигането на високоточен и високоселективен отстраняване на материали чрез координиран контрол на физичното бомбардиране и химичните реакции. Поддържа изследването на предела на технологиите на полупроводниците и иновациите на устройствата.

Характеристики на оборудването:

1. Висока прецизност и анизотропия: Може да изравни фигури с отвесни странични стени и прецизни размери.
2. Добра еднаквост и повторяемост: подходяща за големия мащаб на производството.
3. Широка приложимост на материала: Чрез избор на различни газови комбинации могат да се изтравят различни материали (полупроводници, диелектрици, метали и др.).
4. Високо съотношение на селективност: Може точно да се изтравя определени материали, без да нанася значителни повреди на други материали.
5. Почистване: Съх процес, избягвайки проблеми като почистване и третиране на отпадъчни течности, причинени от влажно изтравяне.
Спецификация
Конфигурация на системата:
Електрично отопление
Камера (Едноклетъчна)
Н/Д
Тип долната електрода
242mm
Температурен диапазон на процес
-20-100°C
Източник на плазма
600W-1000W
Манометричен размер на процеса
100mtorr
Вакуумна система
Молекулни помпени агрегати, съхите помпени системи, процесна камера
Брой на етажните камери
Единично отворче
Сгъватели
Тип
Размер/mm
Материал
Н/Д
8、6、4、3、2
Детектор на крайна точка
ОПЦИЯ
Индуктивно свързана плазма
ОПЦИЯ
Технически параметри:
Етчинг материал
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Скорост на етching
>20nm/min (Si02 материал) Скоростите за различни материали не са еднакви
Разпределен контрол
>85°
Метод за зареждане
Отворен товар
Газопровод управляван от MFC
Налични са шест газови балона
Опция за охлаждане с хелий от задната страна
Да
Интерфейс човек-машина
Управление с щипка
Режим на работа
Пълно автоматично управление, непълно автоматично управление
Избор и конфигурация на автоматични устройства
Можете да изберете между вносни и вътрешни части
Случаи на прилагане
Упаковка и доставка
Фирмен профил
От 2014 г. насам, Майндер-Хайтек е представител в областта на продажбите и сервизното обслужване на оборудване в индустрията на полупроводниците и електронните продукти. Ние се стремим да осигуряваме на клиентите по-добри, надеждни и комплексни решения за машинното оборудване. До днес продуктите на нашия бранд са се разпространили в основните индустриални държави по света, помагайки на клиентите да подобрят ефективността, да намалят разходите и да подобрят качеството на продуктите.
Често задавани въпроси
1. За цена:
Всичките ни цени са конкурентни и преговорни. Цената варира според конфигурацията и сложността на персонализацията на устройството ви.

2. За проба:
Можем да ви предоставим услуги за производство на проба, но може да трябва да платите някои такси.

3. За плащането:
След като планът е потвърден, трябва първо да ни платите депозит, след което фабриката ще започне да подготвя стоката. След като оборудването е готово и платите баланса, ние ще го изпратим.

4. За доставка:
След завършване на производството на оборудването, ние ще ви изпратим видео за приемка, и можете също да дойдете на място да проверите оборудването.

5. Инсталиране и настройка:
След като оборудването стигне до вашата фабрика, можем да изпратим инженери за да го инсталират и отстраният грешките. Ще ви предоставим отделно предложение за тази такса за услуги.

6. За гаранция:
Нашето оборудване има гаранционен период от 12 месеца. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат заменени, ще вземем само цената на материала.

7. Следпродажбено обслужване:
Всички машини имат гаранционен период от над една година. Наши инженери по техническата поддръжка винаги са на линия, за да осигурят услуги по инсталация, пуско-наладка и поддръжка на оборудването. Можем да осигурим инсталация и пуско-наладка на място за специално и голямо оборудване.

Още продукти

Запитване

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Политика за поверителност

Запитване Email WhatsApp Връх
×

Връзка с нас