ماكينة طحن وتصقيل دقيقة للمواد أشباه الموصلات , China ماكينة طحن وتصقيل دقيقة للمواد أشباه الموصلات Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

لمحة عامة عن المعدات:

ماكينة الطحن والتشطيب MDAM-CMP100/150 هي معدّة دقيقة للطحن والتشطيب تغطي تطبيقات مثل مواد أشباه الموصلات والمواد البصرية-الإلكترونية. وتُستخدم أساسًا لطحن وتخفيض سماكة رقائق المواد الرئيسية لأشباه الموصلات، مثل السيليكون وثاني أكسيد السيليكون ورقائق المستوي البؤري من أنتمونيد الإنديوم، فضلاً عن التلميع الكيميائي-الميكانيكي للأسطح السفلية والعليا والوجوه الطرفية. وخضعت المعدّة بأكملها وجميع مكوّناتها لمعالجة كاملة مقاومة للتآكل، ويمكن ضبط معايير العملية عبر واجهة التفاعل باللمس.

تصميم علمي ومعقول، وأداء متقدم، ودرجة عالية من الأتمتة، وسهولة في التشغيل والصيانة، وموثوقية قوية، وربط عينات الركيزة، والطحن والتخفيف، والتلميع الكيميائي الميكانيكي، وكذلك الاتصال بين عمليات الكشف السابقة واللاحقة معقول تمامًا، لضمان اتساق أبعاد المعالجة لكل وظيفة من وظائف المعدات. وبتكوين أجهزة ومستهلكات مختلفة، يمكن تحقيق تكوينات متعددة للماكينات وحلول عملية تلبي مختلف المتطلبات التقنية مثل اختلاف المواد والأحجام لدى المستخدمين.

مع التطور السريع لتقنية شبه الموصلات، تستمر متطلبات الأداء والوظائف للدوائر المتكاملة في الزيادة. تقنيتا TSV (منفذ سيليكون من خلال) وTGV (منفذ زجاج من خلال) كتقنيات تغليف وتوصيل متقدمة يمكنهما تحسين دمج وأداء الشرائح بشكل فعال. يحتوي هذا الجهاز على خطة عملية فريدة لتنفيذ تقنية TSV/TGV.

مزايا المعدات:

* نظام تشغيل لمس مستقل وقابل للحركة؛
* تنفيذ طحن وتلميع أوجه الرقائق، بالإضافة إلى إعداد زوايا خاصة؛
* يمكنه تخزين 100 قائمة عمليات؛
* وظيفة الكشف عن النقطة النهائية EPD؛
* يمكن اختياريًا ترقية نظام التغذية إلى ثلاث قنوات؛
* مناسب للأحجام العينة التي لا تتجاوز 6 بوصات.

وظائف الجهاز:

جهاز الطحن والتلميع بدقة MDAM-CMP100/150، الوحدة الرئيسية وكل القطع الاحتياطية مصنوعة من مواد ذات مقاومة عالية للتآكل. الجهاز بأكمله مقاوم للتآكل، مستقر، مقاوم للارتداء، ومقاوم للصدأ، ومناسب لطحن وتلميع المواد شبه الموصلة باستخدام عملية كيميائية ميكانيكية. منطقة العمل منفصلة عن منطقة عرض التحكم وهي تُتحكم رقميًا بنظام تحكم بشاشة لمس. يتم التحكم فيه بواسطة CNC، ويمكن تخزين البيانات واسترجاعها.

يحتوي نظام الجهاز على وظيفة توقيت، يمكنه العمل بشكل مستمر لمدة 10 ساعات والتحكم في سرعة قرص التلميع. يتم وضع لوحة التحكم خارج منطقة العمل لمنع تسرب محلول التلميع إلى لوحة التحكم. يمكن ضبط جميع معلمات الوحدة الرئيسية عبر الشاشة اللمسية. تحتوي معلمات عملية الوحدة على وظائف تخزين واسترجاع لضمان اتساق وتكرار العملية. يتم إمتصاص عينة البلاطة بواسطة ضخ شفط فراغي على السطح السفلي للقاطع، ومزودة بمضخة شفط فراغية بدون زيوت ولها وظيفة منع العكس المستقلة.

نظام القيادة الدوراني الأفقي لعينة تكوين المثبت يحتوي على وظيفة التأرجح، بنطاق تأرجح قابل للتعديل من 0-100%. يمكن ضبط عرض التأرجح وسرعة التردد بدقة من خلال لوحة التحكم. المثبت مزود بنظام قيادة مستقل للدوران، ب نطاق سرعة قابل للتعديل من 0-120 دورة في الدقيقة. هذا التصميم الوظيفي يضمن تلميعاً كاملاً للعينة أثناء عملية الطحن والتلميع، مما يعزز بشكل كبير قدرة وكفاءة الجهاز.

المثبت مزود بجدول مراقبة رقمي للسمك بدقة مراقبة 1 μ m. ضغط المثبت على عينة الشريحة قابل للتعديل المستمر، بنطاق ضغط من 0-3.5 كجم وبدقة 2g/cm²، ومزود بجهاز قياس الضغط.

يتم التحكم في تشغيل قرص الطحن والتلميع بواسطة المحرك الرئيسي، ويمكن ضبط سرعة القرص من ٠ إلى ١٢٠ دورة في الدقيقة. ويضمن هذا النطاق المتغير للسرعة بفعالية سرعة طحن وتلميع العينات المصنوعة من مواد ذات صلادة وحجم مختلفين، وبالتالي تحقيق مؤشرات عملية أعلى.

إن استبدال أقراص الطحن وأقراص التلميع بسيطٌ وسريعٌ، وذلك بفضل الأقراص المدمجة التي تتيح للمعدات الانتقال السريع من عمليات الطحن إلى عمليات التلميع، مما يقلل بشكل كبير من وقت المعالجة. كما أن قرص الطحن مزوَّدٌ بكتلة إصلاح الأقراص لضمان امتلاك قرص الطحن تسطّحًا جيِّدًا.

المواصفات

الطراز	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
حجم الوافر	4 بوصات وما دون	6 بوصات وما دون
قطر لوحة العمل	420 مم	420 مم
محطة	≤4	≤2
منفذ التغذية	≤3
وحدة تزويد الطاقة	220V، 10A
توقيت	0-10 ساعات
درجة حرارة البيئة المحيطة	20℃~35℃
سرعة اللوحة	0-120دورة في الدقيقة
معدل التثبيت	0-120دورة في الدقيقة

مكون نظام تثبيت العينة	كماشة، ذراع لفافة
مجتمعة عملية اللapping	لوحة اللapping، كتلة إصلاح اللوحة، والأسطوانة
مجتمعة عملية التلميع	نظام إمداد سائل التلميع ولوحة التلميع
المكون الكشف	منصة معيار الاختبار، جهاز اختبار السطح المسطح، ومقياس ضغط الاختبار
حزمة مواد تسطيح وتصقيل الوافر	مسحوق التسطيح، حلول التصقيل، قماش التصقيل، شمع، سائل إزالة الشمع، ورقة أساس زجاجية

الأسئلة الشائعة

1. حول السعر:
جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.

2. حول العينة:
يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.

3. حول الدفع:
بعد التأكد من الخطة، تحتاج إلى دفعنا مقدم أولاً، وسيبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد أن يكون الجهاز جاهزًا وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنه.
المعدات جاهزة وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنها.

4. حول التسليم:
بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.

5. التركيب والضبط:
بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.

6. حول الضمان:
تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.