MDXN-25X مُحاذاة أقنعة بدقة عالية جانب واحد , China MDXN-25X مُحاذاة أقنعة بدقة عالية جانب واحد Manufacturers, Suppliers, Factory

وصف المنتج

هذا الجهاز هو جهاز طباعة دقيق طورته شركتنا خصيصًا لخصائص الاستخدام الخاصة بأجهزة الطباعة في الجامعات والمؤسسات البحثية المختلفة. يستخدم بشكل أساسي لتطوير وإنتاج الدوائر المتكاملة الصغيرة والمتوسطة، والمكونات شبه الموصلة، والأجهزة الضوئية الإلكترونية، وأجهزة الموجات الصوتية السطحية.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

المواصفات

المواصفات الفنية الرئيسية

1. يمكن للجهاز شفط قناع مربع بحجم 5 "X5" بدون متطلبات خاصة سماكة اللوحة (تتراوح بين 1 و 3 مم).
2. يمكن تطبيق الجهاز على قاعدة دائرية قطرها 100 مم؛
3. سمك القاعدة ≤ 5 مم;
4. الإضاءة:
مصدر الضوء: يتم استخدام مصباح زئبقي مباشر تحت ضغط عالٍ من نوع GCQ350Z.
نطاق الإضاءة: ≤ قطر 117 مم منطقة التعرض: قطر 100 مم
داخل نطاق قطر 100 مم، تكون عدم انتظام التعرض ≤ ± 3٪، وشدة التعرض > 6 ميكروواط/سم² (يتم قياس هذا المؤشر باستخدام مصدر ضوء أشعة فوق بنفسجية خط I-line 365 نانومتر).
5. يستخدم هذا الجهاز مفتاح زمني مستورد لتشغيل الستارة الهوائية، مما يضمن التشغيل بدقة وموثوقية.
6. هذه الآلة هي آلة تعرض بالتلامس يمكن أن تحقق:
7. التعرض بالتلامس الصلب: استخدام الشفط عبر الأنابيب للحصول على تلامس شفط عالي، الشفط ≤ -0.05 ميجا باسكال
8. التعرض بالاتصال الناعم: يمكن أن يرفع الضغط الاتصالي الفراغ إلى ما بين -0.02MPa و -0.05MPa.
9. التعرض بالاتصال الدقيق: أقل من الاتصال الناعم، الفراغ ≥ -0.02MPa.
10. دقة التعرض: يمكن لدقة التعرض بالاتصال الصلب لهذا الجهاز أن تصل إلى أكثر من 1 ميكرون (يجب أن تكون دقة "اللوحة" و"الشريحة" الخاصة بمستخدمين ضمن اللوائح الوطنية، ويجب السيطرة الصارمة على البيئة، درجة الحرارة، الرطوبة، والغبار. يتم استخدام مقاوم ضوئي إيجابي مستورد، ويمكن السيطرة الصارمة على سماكة المقاوم الضوئي الموحد. بالإضافة إلى ذلك، العمليات السابقة واللاحقة متقدمة).
11. التحديد: يتكون نظام المراقبة من كاميرتين CCD مثبتتين على مجهرين أحاديين الأنبوب متصلتين بشاشة العرض من خلال كابل فيديو.