
| حجم المرحلة  | 8، 12[بوصة]  | MAX 300x300[مم]  | |
| حجم الكرة  | ф50[ميكرون]~ Ф300[ميكرون]  | ||
| المسافة الأدنى بين الكرات  | 90[ميكرون](كرة بقطر Ф50[ميكرون])  | ||
| دقة المعايرة  | +15[um]  | ||
| الأبعاد  | 3,065W x 1,700D x 1,650H[mm]  | ||
| الوزن  | حوالي 2,900[kg]  | ||
| جهاز تحميل / إفراغ  | فتح الكاسيت، FOUP  | قابلة للتخصيص  | |









جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة