






|
البلازما
|
RF
|
RF
|
||
|
طاقة
|
ICP
|
1000 واط
|
1000 واط
|
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
|
نطاق التطبيق
|
4~8 بوصة
|
4~8 بوصة
|
||
|
عدد الشرائح المعالجة بشكل فردي
|
1
|
2
|
||
|
الأبعاد الخارجية
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
تحكم النظام
|
نظام التحكم الصناعي
|
نظام التحكم الصناعي
|
||
|
مستوى الأتمتة
|
تلقائي
|
تلقائي
|
||






جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة