EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
المقدمة: يتكون هذا المعدات بشكل رئيسي من غرفة تفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، وهدف لرش المغنطروني، وجهاز طلاء بالتبخر، ومنضدة عيِّنات لتثبيت العيِّنات، ووحدة مضخة تفريغ، ومقياس لقياس فراغ الغرفة، ونظام لإدخال الهواء، ونظام تحكُّم. ويُدار الوحدة الرئيسية للمعدات عبر شاشة لمسية، وتتم مراقبتها بواسطة جهاز قياس درجة الحرارة. كما أن واجهة المعايير الرقمية والتشغيل الآلي يوفِّران للمستخدمين منصة ممتازة للأبحاث والتطوير. وتتبنى غرفة التفريغ تصميمًا للهدف في القاع، بينما تمتلك منضدة العيِّنات وظيفتي التسخين والدوران، ما يحقِّق توزيعًا أكثر انتظامًا لطبقة الطلاء. أما نظام الحصول على الفراغ في هذه المعدات فيعتمد على مجموعة مكوَّنة من مضختين تفريغيتين متتاليتين: فالمضخة الأمامية هي مضخة ميكانيكية عالية السرعة، مما يقلِّل بفعاليةٍ من الزمن اللازم للانتقال من الضغط الجوي العادي إلى حالة التفريغ المنخفض. أما المضخة الرئيسية فهي مضخة جزيئية توربينية ذات سرعة ضخٍّ عالية، ما يسرِّع عملية الحصول على الفراغ. وبشكل عام، يتميَّز نظام الحصول على الفراغ الكلي بهذه المعدات بالنقاء والسرعة.
التطبيق: يمكن استخدامه لإعداد أفلام رقيقة فerroelectric أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات، وأفلام موصلة، وأفلام سبائك، وأفلام شبه موصلة، وأفلام خزفية، وأفلام عازلة، وأفلام بصرية، إلخ.
