





|
مصدر البلازما
|
RF+BIAS
|
||
|
طاقة
|
1000 واط
|
1000 واط
|
|
|
600 واط
|
600 واط
|
||
|
نطاق التطبيق
|
4-8 بوصات
|
||
|
عدد الشرائح المعالجة بشكل فردي
|
واحد
|
||
|
الأبعاد الخارجية
|
1140مم × 1050مم × 1620مم
|
||
|
تحكم النظام
|
نظام التحكم الصناعي
|
||
|
مستوى الأتمتة
|
دليل
|
||








جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة