نظام تسوية دقيق (CMP)

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

نظام تسوية دقيق (CMP)

لمحة عامة عن المعدات:

نظام التلميع الدقيق (CMP) يُستخدم أساسًا لصقل وتخفيض سماكة الرقائق أشباه الموصلات الرئيسية مثل السيليكون وثاني أكسيد السيليكون ورقائق المستوى البؤري من أنتمونيد الإنديوم، وكذلك للتلميع الكيميائي الميكانيكي للأسطح السفلية والعليا والوجوه الطرفية.

الجهاز بالكامل وأجزاؤه كافة مقاومة تمامًا للتآكل، ويمكن ضبط معايير العملية عبر واجهة تفاعلية تعمل باللمس.

حجم العينة القابلة للمعالجة:

حجم العينة ≤ ١٥٢ مم / ٦ بوصة

السماكة القابلة للتشغيل تتراوح بين ٥٠ ميكرومتر و١٠ مم

مؤشرات الأداء التي يمكن تحقيقها:

١. انحراف السماكة الإجمالي (TTV) لرقاقة قطرها ٧٥ مم يكون ضمن حدود ٢ ميكرومتر؛

٢. انحراف السماكة الإجمالي (TTV) لرقاقة قطرها ١٠٠ مم يكون ضمن حدود ٣ ميكرومتر؛

٣. انحراف السماكة الإجمالي (TTV) لرقاقة قطرها ١٥٠ مم يكون ضمن حدود ٤ ميكرومتر.

أنواع العينات التي يمكن معالجتها:

السيليكون، كربيد السيليكون، الألماس، السيراميك، نيتريد الغاليوم، الكوارتز، أنتمونيد الغاليوم، فوسفيد الإنديوم، أرسينيد الغاليوم، تيلوريد الزنك والكادميوم، تيلوريد الزئبق والكادميوم، نيوبات الليثيوم وغيرها من مواد أشباه الموصلات.

مميزات المعدات:

١. تحقيق وظيفة كشف نقطة النهاية للتحكم في سماكة العينة.

٢. وظيفة التحكم في درجة حرارة لوحة الطحن والتلميع والتدفئة على الخط وفي الوقت الفعلي، بالإضافة إلى وظيفة التبريد.

٣. نظام تغذية متعدد القنوات.

٤. وظيفة الشطف التلقائي لوحَي الطحن والتلميع.

٥. وظيفة إصلاح اللوحة تلقائيًا.

٦. تزويد الحامل بطاولة رقمية لمراقبة السماكة بدقة مراقبة تبلغ ٠٫١ ميكرومتر.

المعلمات التقنية:

إعداد الجهاز:

الأسئلة الشائعة

1. حول السعر:

جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.

2. حول العينة:

يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.

3. حول الدفع:

بعد التأكيد على الخطة، تحتاج إلى دفع لنا مقدم أولاً، وستبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد استعداد المعدات ودفعك للرصيد المتبقي، سنقوم بشحنها.

4. حول التسليم:

بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.

5. التركيب والضبط:

بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.

6. حول الضمان:

تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.

7. خدمة ما بعد البيع:

جميع الآلات تحتوي على فترة ضمان تزيد عن سنة واحدة. مهندسونا الفنيون متوفرون دائمًا عبر الإنترنت لتزويدكم بخدمات تركيب المعدات وتشغيلها وصيانتها. يمكننا توفير خدمات التركيب والتشغيل في الموقع لبعض المعدات الخاصة والكبيرة.