




مادة الشريحة |
السليكون وغيرها |
حجم الشريحة |
سمك 0.3~30 مم: 0.05 ~1.0 [مم] |
طرق التوريد |
صواني مقاس 2، 4 بوصة (صواني شبكيّة، جيل-باك، صواني معدنية إلخ) |
مادة القاعدة |
الفولاذ المقاوم للصدأ، النحاس، السليكون، قطعة العمل، السيراميك وغيرها |
كمية الألواح |
لوح بحجم 2 بوصة حتى 8، أو لوح بحجم 4 بوصات حتى 2؛ يمكن ضبط اللوح حسب الرغبة للرقاقة أو القاعدة. |
الحجم الخارجي للقاعدة |
15~50 [مم] ورقاقة 8 [بوصة] |
سمك المادة الأساسية |
لوحة قاعدة مسطحة بسمك 0.1~3.0[مم]; لوحة سفلية على شكل أنبوب: A:0.1~2[مم] B:≤5[مم]، C:≤7[مم] أقل مسافة من الرقاقة إلى الجدار الداخلي للعلبة D: 21مم |
UPH |
تقريبًا 12 [ثانية/دورة] [شروط وقت الدورة] |
محور Z |
الدقة |
0.1[ميكرومتر] |
|
نطاق الحركة |
200[مم] |
||
السرعة |
الحد الأقصى.250[مم/ثانية] |
||
محور θ |
الدقة |
0. 000225[°] |
|
نطاق الحركة |
±5[°] |
||
تثبيت الشريحة |
طريقة الشفط بالفراغ |
||
تغيير الوصفة |
طريقة ATC (جهاز تغيير الأدوات تلقائيًا) الحد الأقصى لعدد القوالب التي يمكن تغييرها: 20x20[مم] 6 أنواع *نوعان عند استخدام 30x30[مم] (خيار) مستعملة |
||
نطاق الإعداد |
نطاق التحميل المنخفض: 0.049 إلى 4.9[نيوتن] (5 إلى 500[غم]) نطاق التحميل العالي: 4.9 إلى 1000 [N] (0.5 إلى 102 [كجم]) * لا يمكن التحكم في التحميل الذي يغطي كلا النطاقين. * المخروط فوق الصوتي مخصص للمنطقة عالية التحميل فقط |
دقة الضغط |
نطاق التحميل المنخفض: ±0.0098 [N] (1 [غم]) نطاق التحميل العالي: ±5 [%] (3σ) * الدقة لكلا النطاقين تعتمد على الحمل الفعلي عند درجة حرارة الغرفة. |
طريقة التسخين |
طريقة التسخين النبضي (سخان سيراميكي) |
درجة الحرارة المحددة |
درجة حرارة الغرفة حتى 450 [°م] (بنسبة 1 [°م] لكل خطوة) |
سرعة ارتفاع درجة الحرارة |
ماكس 80[°م/ثانية] (بدون قالب خزفي) |
توزيع درجة الحرارة |
+5[°م] (مساحة 30x30[مم]) |
وظيفة التبريد |
مع أداة التسخين، وظيفة التبريد أثناء العمل |
تردد الاهتزاز |
40[كيلو هرتز] |
نطاق الاهتزاز |
تقريبًا من 0.3 إلى 2.6[ميكرولتر م] |
طريقة التسخين |
طريقة الحرارة الثابتة (قرن الموجات فوق الصوتية) |
درجة الحرارة المحددة |
درجة حرارة الغرفة حتى 250[°م] (بنسبة 1[°م] لكل خطوة) |
حجم الأداة |
أنواع أداة M6 قابلة للتبديل (نوع اللولب) *يجب تغييره إلى النوع الصلب للأحجام الرقائق التي تزيد عن 7x7 [مم]. |
آخرون |
يجب استبداله برأس تسخين نابض. |
منطقة التركيب |
50×50 [مم] |
طريقة التسخين |
سخان السيراميك |
درجة الحرارة المحددة |
درجة حرارة الغرفة حتى 450 [°م] (بنسبة 1 [°م] لكل خطوة) |
توزيع درجة الحرارة |
+5[°م] |
سرعة ارتفاع درجة الحرارة |
الحد الأقصى 70[°م/ثانية] (بدون القالب الخزفي) |
وظيفة التبريد |
متوفر |
إمساك العمل |
طريقة الشفط بالفراغ |
تغيير الوصفة |
تغيير القالب |
المرحلة XY |
سخان ثابت |
||
مرحلة الربط الرئيسي |
منطقة التركيب |
200×200 [مم] (48 [بوصة] مساحة) |
|
طريقة التسخين |
حرارة ثابتة |
||
درجة الحرارة المحددة |
200×200 [مم]: من درجة حرارة الغرفة إلى 250[°م] (خطوة 1[°م]) |
||
توزيع درجة الحرارة |
±5% (200×200 [مم]) |
||
إمساك العمل |
طريقة الشفط بالفراغ |
||
تغيير الوصفة |
تغيير القالب |
||



جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة