Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
احصل على عرض سعر

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

الصفحة الرئيسية
من نحن
مُعدات MH
حل
المستخدمون في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الرئيسية > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل
  • MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل
  • MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل
  • MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل

MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل

الموديل: MDICP-5000F

احصل على عرض سعر مجاني
MDICP-5000F آلة التآكل ICP الأوتوماتيكية بالكامل
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

ملخص تنفيذي:

المعدات هي نظام شغف ثنائي الغرف. الغرفة الأولى هي غرفة عينة الحقن والغرفة الأخرى هي غرفة التآكل. تم تركيب قفل شغفي بين غرفة عينة الحقن وغرفة التآكل، وتُنقل عينة الحقن بواسطة مناولة آلية.
يتألف الجهاز بشكل أساسي من نظام الشفط، نظام الدائرة الغازية، النظام الكهربائي، النظام التحكمي، نظام التبريد، آليات إمداد وسحب الفيلم، نظام الإنذار، وما إلى ذلك.

نظام الشفط:

يتكون النظام من مضخة جزيئية ذات سرعة ضخ قدرها 600 لتر / ثانية + مضخة شفط جافة مستوردة ذات سرعة ضخ L / s لشفط غرفة الإزالة إلى شفط عالي. يتم تركيب صمام ضغط كهربائي ديناميكي بين المضخة الجزيئية وغرفة الإزالة. المضخة الجافة المستوردة هي مضخة الشفط الأولية لغرفة الإزالة والمضخة الأمامية للمضخة الجزيئية. تُستخدم مضخة ميكانيكية أخرى ذات سرعة ضخ L / s لشفط غرفة العينة. يتم استخدام موصلات فولاذية غير القابلة للصدأ لربط المضخة الميكانيكية بغرفة الشفط والمضخة الجزيئية، ويتم تركيب صمام كهرومغناطيسي هوائي.

نظام التحكم بالضغط الثابت

مجهز بالمعدات بنظام تحكم بالضغط الثابت في المصب، وتم تركيب صمام قابل للتعديل كهربائيًا في خط أنابيب استخراج الهواء. من خلال قياس مقياس الفيلم (الأجزاء المستوردة)، يتم التحكم في الصمام القابل للتعديل لتحقيق ضغط ثابت في غرفة الفراغ، مما يساهم في تحسين استقرار العملية.

نظام التحكم بالضغط الثابت

مجهز بالمعدات بنظام تحكم بالضغط الثابت في المصب، وتم تركيب صمام قابل للتعديل كهربائيًا في خط أنابيب استخراج الهواء. من خلال قياس مقياس الفيلم (الأجزاء المستوردة)، يتم التحكم في الصمام القابل للتعديل لتحقيق ضغط ثابت في غرفة الفراغ، مما يساهم في تحسين استقرار العملية.

نظام الدائرة الغازية

مجموعتان من مصادر الطاقة RF ذات التناسب التلقائي.

نظام إنذار

المتطلبات الأمنية للمعدات.
المواصفات
الاسم
SPC
العلامة التجارية
رقم \/ مجموعة
ملاحظة
غرفة التآكل، خطوط استخراج الهواء، نافذة المراقبة، الواجهات المحفوظة، إلخ
القياسي
JSWN
1
مضاد للتآكل
الهيكل، الخزان الكهربائي، الأختام، القطع القياسية، إلخ
القياسي
JSWN
1
نظام رفع غطاء غرفة التآكل
القياسي
JSWN
1
مضاد للتآكل
القطب الكهربائي والنظام التبريد بالنقش
القياسي
JSWN
1
مضاد للتآكل
مضخة جزيئية (سرعة ضخ 600 لتر / ثانية)
FF620/150
KYKY
1
مضاد للتآكل
مضخة جافة للدخول (سرعة الضخ 9 لتر / ثانية)
XDS-35I
إدواردز
1
مضاد للتآكل
مضخة ميكانيكية (سرعة الضخ 9 لتر / ثانية)
TRP-36
BWVAC
1
صمام بوابة تنظيم كهربائي
DCQ-150
JSWN
1
مضاد للتآكل
صمام إيقاف بالكيس الهوائي النفاث
KF40
JSWN
3
مضاد للتآكل
مقياس الفيلم
KF16
INFICON
1
مضاد للتآكل
جهاز تحكم تدفق الكتلة
D07
Sevenstar
4
مضاد للتآكل
صمام الغشاء الهوائي
1/4" VCR
-
4
مضاد للتآكل
أنبوب فولاذي غير قابل للصدأ، مفاصل الأنبوب، وما إلى ذلك
1/4" VCR
-
4
مضاد للتآكل
مصدر طاقة RF / مطابقة تلقائية
-
الصين (اختياري CROWN1310)
1
مصدر طاقة RF / مطابقة تلقائية
-
الصين (اختياري CROWN1310)
1
مقياس شغف مركب
ZDF
RB
1
IPC
2U
الصين
1
شاشة لمسة LCD
17 بوصة
الصين
1
نظام تحكم PLC
S7-200
سيمنز
1
نظام تحكم في القيادة الكهربائية
القياسي
JSWN
1
كشف ماء التبريد ونظام الأنابيب
القياسي
JSWN
1
كشف الهواء المضغوط ونظام الأنابيب
القياسي
JSWN
1
جهاز تدوير ماء التبريد
HX
الصين
1
غرفة حقن النقش
القياسي
JSWN
1
قفل شفط
SMC
SMC
1
نظام تحكم الماني퓰اتور
SMC
SMC
1

المعاملة الفنية للمعنى

1. حد الشفط: غرفة النقش 9.0×10-5Pa (رطوبة الغرفة ≤55%)
غرفة عينة الحقن 6.0×10-1Pa
2. مادة النقش: مادة Ⅲ، Ⅴ، Si، SiO2، إلخ
3. معدل النقش: ~ 1μ/دقيقة
4. انتظام النقش: ≤±5٪ (مدى φ125mm)
6. حجم الكهرباء: φ200mm

الأسئلة الشائعة

1. حول السعر:

جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.

 

2. حول العينة:

يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.

 

3. حول الدفع:

بعد التأكيد على الخطة، تحتاج إلى دفع لنا مقدم أولاً، وستبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد استعداد المعدات ودفعك للرصيد المتبقي، سنقوم بشحنها.

 

4. حول التسليم:

بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.

 

5. التركيب والضبط:

بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.

 

6. حول الضمان:

تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.

 

7. خدمة ما بعد البيع:

جميع الآلات تحتوي على فترة ضمان تزيد عن سنة واحدة. مهندسونا الفنيون متوفرون دائمًا عبر الإنترنت لتزويدكم بخدمات تركيب المعدات وتشغيلها وصيانتها. يمكننا توفير خدمات التركيب والتشغيل في الموقع لبعض المعدات الخاصة والكبيرة.

منتجات أخرى

استفسار

جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة

سياسة الخصوصية

استفسار Email واتساب أعلى
×

اتصل بنا