الهيكل |
أوضح |
سطح التعرض |
منطقة التعرض: سطح العمل، منطقة وضع المادة الخام |
النظام البصري |
منطقة تشكيل إصدار الليزر |
نظام تحكم البيئة |
التحكم في درجة الحرارة والضغط الإيجابي الداخلي للجهاز |
نظام المنصة |
يتحكم في حركة طاولة التعرض لإكمال عملية مسار التعرض |
نظام التحكم |
نظام تحكم لمعدات كاملة |
الرقم |
البيئة |
يتطلب |
1 |
بيئة مصدر الضوء |
ضوء أصفر |
2 |
درجة الحرارة |
22℃±2℃ |
3 |
الرطوبة |
50%±10% |
4 |
النظافة |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa، 200LPM، هواء جاف ونظيف |
6 |
وحدة تزويد الطاقة |
220~240V، 50/60Hz، 2.5KW؛ يجب توصيل سلك الأرض بالأرض. |
7 |
ماء تبريد |
الدرجة: 10℃~ 20℃ الضغط: 0.3MPa ~ 0.5MPa معدل التدفق: 20L/دقيقة فرق الضغط: أكثر من 0.3MPa قطر الاتصال: Rc3/8 |
8 |
المكان |
المستوى: ±3mm/3000mm اهتزاز: VC-B محامل: 750kg/م² |
10 |
الإنترنت |
منفذ شبكة واحد |
11 |
حجم الآلة |
1300*1100*2100mm |
12 |
وزن الجهاز |
١٥٠٠ كجم |
الرقم |
مشروع |
المواصفات |
ملاحظة |
1 |
الدقة |
0.6um/أو متطلبات أخرى |
AZ703، AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
سمك المادة الأساسية |
0.2mm～4mm |
|
4 |
دقة شبكة التاريخ |
60nm |
|
5 |
تراكب |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
دقة الربط |
±200nm |
AZ703 |
7 |
الحجم الأقصى للتعرض |
190X190mm |
|
8 |
الطاقة الإنتاجية |
≥300mm2/دقيقة |
≤50mj/cm2؛ |
9 |
مصدر الضوء |
LD 375nm |
|
10 |
قوة الضوء |
6W |
|
11 |
تجانس الطاقة |
≥95% |
|
12 |
عمر الضوء |
10000 ساعة |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
