ميزات المعدات
1. تم تصميم هذه المعدة لعملية تشذيب رقائق أشباه الموصلات عالية الجودة باستخدام الليزر.
2. مزودةٌ بلaser مستورد من الولايات المتحدة، مما يوفّر استقرارًا استثنائيًّا أثناء عملية التشذيب بالليزر.
3. تتميز بمنصة خطية دقيقة مقاومة للتداخل، مزودة بمقياس شبكي (Grating Scale) على المحورين X وY، ما يقلل فعّالياً من التداخل الناتج عن الماكينة على المنتجات.
4. تتضمن كاميرا CCD بدقة 12 ميغابكسل لتحديد المواقع بدقة عالية.
5. تتميز بتقنية التصوير الأكمي (Achromatic Imaging) وقدرات تحديد المواقع عبر التعرف على الصور.
6. تضم واجهات خارجية مثل GPIB وغيرها لتوصيل أجهزة قياس أو ضبط مقاومة خارجية.
7. القاعدة الرخامية تضمن استقرارًا ممتازًا للماكينة.
المعلمات الفنية
الموديل |
MDSG-LT74 |
طول موجة الليزر |
1064/355 نانومتر |
قوة الليزر |
6 واط / 4 واط |
حجم النقطة النموذجي |
25-35μm |
طريقة التركيز |
تلقائية، يتم التحكم فيها عبر برنامج حاسوبي. |
طريقة التبريد |
تبريد الهواء |
مدى حركة شعاع الليزر |
27 مم × 27 مم |
دقة الحركة |
0.76μm |
دقة إعادة التوجيه |
±2.5 ميكرومتر |
وضع الحركة |
محرك خطي باستخدام مسطرة شبكية مقاومة للتداخل |
مدى الحركة) |
300 مم × 300 مم |
دقة إعادة التوجيه |
±1 ميكرومتر |
طريقة قياس المقاومة |
القياس رباعي الأسلاك |
دقة قياس المقاومة |
±0.02% (للمقاومة المتوسطة) |
نطاق قياس المقاومة |
0.1أوم–50 ميغاأوم |
سرعة القياس |
4 ميكروثانية/قياس |
تصحيح الخطأ عند الصفر والحد الأقصى |
تصحيح تلقائي |
تعريف المجس |
إعداد عشوائي قابل للبرمجة |
واجهة |
GPIB |
أبعاد المعدات |
1430 × 913 × 1747 مم |
الوزن |
617 كغ |
شروط التشغيل (الماء، الكهرباء، الغاز) |
الرطوبة: أقل من ٧٠٪؛ مصدر الطاقة: تيار متناوب ٢٢٠ فولت، ٢٫٥ كيلوواط؛ الهواء المضغوط: أقل من ٠٫٦ ميغاباسكال، وأقل من ٤٠ لتر/دقيقة |
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة