الطراز: MDST-6100
جهاز الإزالة الجافة بالبلازما ذي التردد العالي المُحفَّز بالملف الحلزوني (ICP) مناسب لتطبيقات مثل إزالة الطبقات السطحية الخفيفة (المعالجة المبدئية وإزالة البقايا)، وإزالة البوليمرات (مثل PI وBCB وPBO)، وإزالة المقاومة الضوئية بعد حقن الأيونات؛ وتتسع الغرفة لعينات بقطر 8 بوصات (مع توافقٍ مع أحجام 4 و6 بوصات).
مُزيل المقاوم الضوئي بالبلازما الجافة باستخدام تقنية التفريغ المُحفَّز بالملف الحلزوني
جهاز الإزالة الجافة بالبلازما ذي التردد العالي المُحفَّز بالملف الحلزوني (ICP) مناسب لتطبيقات مثل إزالة الطبقات السطحية الخفيفة (المعالجة المبدئية وإزالة البقايا)، وإزالة البوليمرات (مثل PI وBCB وPBO)، وإزالة المقاومة الضوئية بعد حقن الأيونات؛ وتتسع الغرفة لعينات بقطر 8 بوصات (مع توافقٍ مع أحجام 4 و6 بوصات).
يُخضع شكل المعدات لتحديثات وتعديلات مستمرة؛ ويكون المنتج الفعلي الذي يتم شحنه هو المرجع الحاسم.
المزايا:
درجة عالية من تأين البلازما وتفكيكها
بعد المعالجة بالبلازما، تكون درجة التكرار عالية
النحت الجاف، دون مصدر تلوث
التحكم في الضغط ودرجة الحرارة عبر صمامات فراشية
يمكنه الحفاظ على البلازما عند ضغط عالٍ
فصل مصدر الجهد العالي ومولِّد الأيونات
توافق وصلة الميكروويف والدائرة المغناطيسية
يمكنه تلبية متطلبات العميل
انخفاض درجة الحرارة أثناء المعالجة
سرعة استجابة عالية وزمن استجابة قصير
الطراز |
MDST6100 |
مصدر البلازما |
ترددات الراديو |
الطاقة |
1000 واط |
نطاق الاستخدام |
٨ بوصات (متوافق مع ٤ أو ٦ بوصات) |
حجم العلبة |
25 قطعة |
الأَبْعَادُ الكُلِّيَّةُ |
الطول × العرض × الارتفاع: ١٦٩٦ × ٢١٧٠ × ٢١٤٦ مم |
تحكم النظام |
PLC |
نظام صندوق المواد |
تلقائي |
صور فعلية للمعدات:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
