الطراز: MDST3100 / MDST3200
مُزيل المقاوم الضوئي بالبلازما الجافة باستخدام تقنية التفريغ المُحفَّز بالملف الحلزوني
يُستخدَم مُزيل المقاوم الضوئي بالبلازما الجافة باستخدام تقنية التفريغ المُحفَّز بالملف الحلزوني أساسًا لإزالة البوليمرات، وعملية الحرق (أَشِنْغ)، وإزالة طبقات المقاوم الضوئي الزائدة (ديسكامينغ)، وإزالة المقاوم الضوئي بعد حقن الأيونات، وتنظيف الرواسب السطحية. وتتسع غرفة الطراز MDST3100 لعينات بقطر ٤ إلى ٨ بوصات مع معالجة رقاقة واحدة في كل دورة، بينما تتسع غرفة الطراز MDST3200 لنفس الأحجام مع معالجة رقاقتين في كل دفعة.
يُخضع شكل المعدات لتحديثات وتعديلات مستمرة؛ ويكون المنتج الفعلي الذي يتم شحنه هو المرجع الحاسم.
الغسل
إزالة البوليمر
إزالة الشوائب (DESCUM)
التنظيف الجاف لطبقة القناع الصلب
إزالة المقاوم الضوئي بعد زراعة الأيونات
إزالة الرواسب السطحية
إزالة المقاوم الضوئي في عملية الموجات الصوتية السطحية/الموجات الصوتية البُلورية (BAW/SAW)
التنظيف الجاف لطبقة فيلم الرسم العاكس للضوء
تنظيف السطح بعد التآكل
المزايا:
درجة عالية من تأين البلازما وتفكيكها
بعد المعالجة بالبلازما، تكون درجة التكرار عالية
النحت الجاف، دون مصدر تلوث
التحكم في الضغط ودرجة الحرارة عبر صمامات فراشية
يمكنه الحفاظ على البلازما عند ضغط عالٍ
فصل مصدر الجهد العالي ومولِّد الأيونات
توافق وصلة الميكروويف والدائرة المغناطيسية
يمكنه تلبية متطلبات العميل
انخفاض درجة الحرارة أثناء المعالجة
سرعة استجابة عالية وزمن استجابة قصير
الطراز |
MDST3100 |
MDST3200 |
|
مصدر البلازما |
RF |
RF |
|
الطاقة |
ICP |
1000 واط
|
1000 واط
|
BIAS |
غير متوفر |
غير متوفر |
|
نطاق الاستخدام |
٤–٨ بوصة |
٤–٨ بوصة |
|
عدد الرقائق التي تُعالَج في عملية واحدة |
1 |
2 |
|
الأَبْعَادُ الكُلِّيَّةُ |
١٣٠٠×١١٩٠×١٨٤٧ مم |
١٣٠٠×١٦٥٠×١٨٥٠ مم |
|
تحكم النظام |
نظام التحكم الصناعي |
||
درجة الأتمتة |
تلقائي |
||
صور فعلية للمعدات ：
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
