نمط الهيكل |
أفقية، نظام أنبوب واحد أو أنابيب متعددة مع تحكم تلقائي |
ملائمة لحجم الوافر |
2-8″ |
طريقة تسليم واسترجاع الوافر |
قارب كوارتز Cantilever أوتوماتيكي بنظام دفع-سحب، مدمج مع أخذ وتحرير شرائح يدوي. |
الحد الأقصى لدرجة الحرارة |
1050℃ |
درجة حرارة التشغيل |
400 ℃~850 ℃ قابل للتعديل بشكل مستمر |
استقرار درجة حرارة نقطة واحدة |
400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
شغف نظام حدودي |
أفضل من 1Pa |
سرعة الشفط |
زمن الشفط إلى الفراغ الحدي < 15 دقيقة |
نطاق ضغط العمل |
5Pa إلى 1 × 105Pa قابل للتعديل بشكل مستمر |
وحدة تزويد الطاقة |
3 مراحل 5 أسلاك 380V±10٪، 50Hz |
ماء تبريد |
2~4 كغف/سم²، 8ل/دقيقة; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
