مزيل المقاوم الضوئي للرقائق الدفعية من النوع الأسطواني

معدات إزالة طبقة الفوتو ريزست باستخدام موجات الراديو للرقائق الدفعية

يُخضع شكل المعدات لتحديثات وتعديلات مستمرة؛ ويكون المنتج الفعلي الذي يتم شحنه هو المرجع الحاسم.

نظام MDST-3300 هو نظام تجفيف بالبلازما يعمل بالميكروويف، ويُعالَج فيه الرقائق دفعياً ضمن علب كوارتز. وقد صُمّم هذا النظام لتطبيقات مثل إزالة الفوتو ريزست، وإزالة بقايا التصنيع الأولي (ديسكامينغ)، وتنظيف الرقائق، وإزالة البقايا بعد العمليات الرطبة، وتنظيف سطح الرقائق من البقايا، وإزالة البقايا بعد مرحلة التطوير. وتولّد الإلكترونات الحرة بلازماً تؤثر على طبقة الفوتو ريزست الموجودة على أسطح الرقائق الموضوعة داخل علبة الكوارتز داخل الغرفة. وتُولَّد بلازما كثيفة ومستمرة عبر تطبيق طاقة ميكروويف بتردد ١٣,٥٦ ميغاهيرتز على جدران غرفة التفريغ. ويمكن لهذه الغرفة استيعاب علب كوارتز مخصصة للرقائق ذات الأقطار من ٤ إلى ٨ بوصات.

يوفّر نظام MDST-2300 تنظيفاً سريعاً وبلا ضرر باستخدام البلازما. ويحقّق هذا التأثير التنظيفي عبر تفاعلات كيميائية بين الجذور الحرة المنشّطة وطبقة الفوتو ريزست على سطح الرقاقة.

مبدأ التشغيل:

يُطبَّق مجال كهربائي على غاز المعالجة ليُؤدّي إلى تأينه وتحويله إلى بلازما. وتتضمن المكوّنات «النشطة» في البلازما الأيونات والإلكترونات والذرات والجذور الحرة والأنواع في الحالات المُثارة (الحالات شبه المستقرة) والفوتونات. وتستفيد معالجة البلازما من خصائص هذه المكونات النشطة لتحفيز تفاعلات فيزيائية وكيميائية — مثل الأكسدة والاختزال وانقسام الروابط والتراكب التشابكي والبلمرة — وبالتالي تغيير الخصائص السطحية للعينة. وهذه العملية تحسّن الأداء السطحي وتحقق أهدافاً مثل التنظيف وتعديل السطح وإزالة البقايا.

المزايا:

١. تُوفِّر مfixtures حمل المنتجات المرنة إمكانية استيعاب الرقائق ذات الأشكال غير المنتظمة؛

٢. يمنع البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة التلف الحراري للرقائق؛

٣. يجنب البلازما الكهربائيّاً مُتعادلة التلف الكهربائي للرقائق؛

٤. يضمن إخراج البلازما عالي الكفاءة والموحَّد إزالة مقاومة الضوء بفعالية؛

٥. درجة عالية من تأين البلازما وانفصالها؛

٦. تخلّص عملية النقش الجاف من مصادر التلوث؛

٧. يتم التحكم في الضغط ودرجة الحرارة عبر صمام فراشة؛

٨. قادر على الحفاظ على البلازما عند ضغوط غاز مرتفعة؛

٩. مصدر الطاقة عالي الجهد منفصل عن مولِّد الأيونات؛

١٠. متوافق مع توصيل الميكروويف وتراكيب الدوائر المغناطيسية.

هيكل المنتج:

نظام معالجة سطح البلازما يتضمن أساسًا ثلاثة أجزاء: غرفة فراغية ونظام فراغي، ومولّد ترددات راديوية، ونظام تحكّم.

(أ) الغرفة الفراغية ونظام إنشاء الفراغ:

تُثبَّت الغرفة الفراغية داخل هيكل الخزانة، وتوجد أبواب قابلة للفصل على كلا الجانبين، ما يسهّل جدًّا صيانة الغرفة الفراغية الداخلية ونظام الفراغ. ويتكوّن نظام إنشاء الفراغ أساسًا من أنابيب مموجة ووصلات نوع KF ومضخّات فراغية، بينما المكوّن الأساسي هو المضخّة الفراغية (مجموعة المضخّات الفراغية).

(ب) مولّد الترددات الراديوية:

يحتوي مولّد الترددات الراديوية على مصدر طاقة بقدرة ١٠٠٠ واط لتوليد الترددات الراديوية، ويُغذّى الطاقة الميكروويفية إلى غرفة الكوارتز البلازمية عبر جهاز توافق لتكوين البلازما.

(ج) نظام التحكّم:

يستخدم هذا النظام شاشات عرض صناعية وأنظمة تحكم صناعية حاسوبية وتصميم واجهة مستخدم باللغة الصينية. التحكم في عملية التشغيل: تشغيل مضخة التفريغ → فتح صمام الحجاب الحاجز → بلوغ درجة التفريغ المُحددة → إدخال غاز المعالجة → توليد ترددات راديوية بواسطة مصدر الترددات الراديوية → تغذية طاقة الترددات الراديوية إلى الغرفة → تشكّل البلازما داخل الغرفة → مدة التشغيل حتى انقطاع حالة التفريغ → اكتمال العملية. ويتوفر الجهاز بوضعين: تلقائي ويدوي.

مواصفات المنتج: