مشروع |
المواصفات الفنية |
ملاحظات |
||
1 |
نظرة عامة على المعدات |
اسم المعدة: ماكينة تطوير الغراء التلقائية بالكامل |
||
نوع المعدة: MD-2C2D6 |
||||
مواصفات الوافر المعالجة: متوافقة مع الوافر القياسي بقياس 4/6 إنش |
||||
تدفق عملية الغراء المتوازن: تقطيع السلة الزهرية → التمركز → الغراء المتوازن (القطر → الغراء المتوازن → إزالة الحواف، غسل الخلفية) → اللوحة الساخنة → اللوحة الباردة → وضع السلة تدفق عملية التطوير: تقطيع السلة الزهرية → التمركز → التطوير ( محلول التطوير → الماء المقطر، غسل الخلفية → تجفيف النيتروجين) → اللوحة الساخنة → اللوحة الباردة → وضع السلة |
||||
الحجم الكلي (تقريباً): 2100 ملم (ع) * 1800 ملم (غ) * 2100 ملم (عالي) |
||||
حجم خزان المواد الكيميائية (تقريباً): 1700 (ع) * 800 (غ) * 1600 ملم (عالي) |
||||
الوزن الإجمالي (تقريباً): 1000 كغ |
||||
ارتفاع منضدة العمل: 1020 ± 50 مم |
||||
2 |
وحدة الكاسات |
الكمية: 2 |
||
الحجم المُتوافق: 4/6 بوصة |
||||
كشف الكاسات: اكتشاف بالمفتاح الدقيق |
||||
اكتشاف الإخراج: نعم، مستشعر انعكاسي |
||||
3 |
روبوت |
الكمية: 1 |
||
النوع: روبوت امتصاص شفط ذراعين |
||||
درجة الحرية: محور 4 (R1، R2، Z، T) |
||||
مادة الأصابع: السيراميك |
||||
طريقة تثبيت المادة: طريقة الامتصاص بالشفط |
||||
وظيفة التصوير: نعم |
||||
دقة التوضع: ± 0.1mm |
||||
4 |
وحدة التمركز |
كمية: 1 مجموعة |
المحاذاة البصرية الاختيارية |
|
طريقة التحديد: المحاذاة الميكانيكية |
||||
دقة التمركز: ± 0.2mm |
||||
5 |
وحدة الغراء المنتظم |
الكمية: 2 مجموعات (التالي هو التكوين لكل وحدة) |
||
سرعة دوران المغزل: -5000دورة في الدقيقة إلى 5000دورة في الدقيقة |
حامل العجلة |
|||
دقة دوران المغزل: ± 1لكل دقيقة (50لكل دقيقة~5000لكل دقيقة) |
||||
أقل تعديل لسرعة دوران المغزل: 1لكل دقيقة |
||||
التسارع الأقصى لدوران المغزل: 20000لكل دقيقة/ثانية |
حامل العجلة |
|||
ذراع الرش: مجموعة واحدة |
||||
مسار أنبوب الفوتوريسست: مسارين |
||||
قطر فوهة الفوتوريسست: 2.5مم |
||||
عزل الفوتوريسست: 23 ± 0.5 ℃ |
اختياري |
|||
فوهة الترطيب: نعم |
||||
RRC: نعم |
||||
خزانة: نعم، 200 مل |
||||
طريقة تسقيط الغراء: تسقيط المركز ومسح التسقيط اختياري |
||||
ذراع إزالة الحواف: مجموعة واحدة |
||||
قطر فوهة إزالة الحواف: 0.2 مم |
||||
مراقبة تدفق سائل إزالة الحواف: مقياس تدفق عائم |
||||
نطاق تدفق سائل إزالة الحواف: 5-50 مل/دقيقة |
||||
خط التنظيف العكسي: طريقتان (4/6 بوصة لكل منهما قناة واحدة) |
||||
مراقبة تدفق التنظيف العكسي: مقياس تدفق عائم |
||||
نطاق تدفق سائل التنظيف العكسي: 20-200 مل/دقيقة |
||||
طريقة تثبيت الشريحة: شفط فراغ على منطقة صغيرة Chuck |
||||
منبه ضغط الفراغ: مستشعر ضغط فراغ رقمي |
||||
مادة قابض: PPS |
||||
مادة الكوب: PP |
||||
مراقبة تصريف الكوب: مستشعر ضغط رقمي |
||||
6 |
وحدة التطوير |
شاتر: نعم |
||
الكمية: 2 مجموعات (التالي هو التكوين لكل وحدة) |
||||
سرعة دوران المغزل: -5000دورة في الدقيقة إلى 5000دورة في الدقيقة |
حامل العجلة |
|||
دقة دوران المغزل: ± 1لكل دقيقة (50لكل دقيقة~5000لكل دقيقة) |
||||
أقل تعديل لسرعة دوران المغزل: 1لكل دقيقة |
||||
التسارع الأقصى لدوران المغزل: 20000لكل دقيقة/ثانية |
حامل العجلة |
|||
ذراع التطوير: مجموعة واحدة |
||||
خط أنابيب التطوير: ثنائي الاتجاه (فوهات مروحة/أسطوانية) |
||||
تنقية مادة التطوير: 0.2um |
||||
تحكم درجة حرارة مادة التطوير: 23 ± 0.5 ℃ |
اختياري |
|||
نطاق تدفق حلول التطوير: 100~1000 مل/دقيقة |
||||
نمط حركة ذراع التطوير: نقطة ثابتة أو مسح |
||||
ذراع التصهيد: مجموعة واحدة |
||||
خط أنابيب الماء الخالي من الأيونات: دارة واحدة |
||||
قطر فوهة الماء الخالي من الأيونات: 4 مم (القطر الداخلي) |
||||
نطاق تدفق الماء الخالي من الأيونات: 100~1000 مل/دقيقة |
||||
خط أنابيب تجفيف النيتروجين: دارة واحدة |
||||
قطر فوهة النيتروجين: 4 مم (القطر الداخلي) |
||||
نطاق تدفق النيتروجين: 5-50 لتر/دقيقة |
||||
مراقبة تدفق مواد التطوير، والماء الخالي من الأيونات، وغاز النيتروجين: عداد تدفق عائم |
||||
خط التنظيف العكسي: طريقتان (4/6 بوصة لكل منهما قناة واحدة) |
||||
مراقبة تدفق التنظيف العكسي: مقياس تدفق عائم |
||||
نطاق تدفق سائل التنظيف العكسي: 20-200 مل/دقيقة |
||||
طريقة تثبيت الشريحة: شفط فراغ على منطقة صغيرة Chuck |
||||
منبه ضغط الفراغ: مستشعر ضغط فراغ رقمي |
||||
مادة قابض: PPS |
||||
مادة قابض: PPS |
||||
مادة الكوب: PP |
||||
مراقبة تصريف الكوب: مستشعر ضغط رقمي |
||||
7 |
وحدة التثبيت باللزوجة |
الكمية: 2 |
اختياري |
|
نطاق درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 180 ℃ |
||||
تجانس درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (إزالة 10 مم من الحافة، باستثناء فتحة إخراج الطرد) |
||||
أقل كمية تعديل: 0.1 ° C |
||||
طريقة التحكم في درجة الحرارة: ضبط PID |
||||
نطاق ارتفاع PIN: 0-20 مم |
||||
مادة PIN: الجسم SUS304، غطاء PI لـ PIN |
||||
فجوة الخبز: 0.2 مم |
||||
منبه درجة الحرارة المرتفعة: منبه انحراف إيجابي وسلبي |
||||
طريقة التزويد: الفقاعات، 10 ± 2 مل/دقيقة |
||||
شغّال غرفة الشفط: -5-20 كيلوباسكال |
||||
8 |
وحدة اللوحة الساخنة |
الكمية: 10 |
||
مدى درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 250 ℃ |
||||
تجانس درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (إزالة 10 مم من الحافة، باستثناء فتحة إخراج الطرد) |
||||
أقل مقدار تعديل: 0.1 ℃ |
||||
طريقة التحكم في درجة الحرارة: ضبط PID |
||||
نطاق ارتفاع PIN: 0-20 مم |
||||
مادة PIN: الجسم SUS304، غطاء PI لـ PIN |
||||
فجوة الخبز: 0.2 مم |
||||
منبه درجة الحرارة المرتفعة: منبه انحراف إيجابي وسلبي |
||||
9 |
وحدة اللوحة الباردة |
الكمية: 2 |
||
مدى درجة الحرارة: 15-25 ℃ |
||||
طريقة التبريد: تبريد مضخة تدوير درجة حرارة ثابتة |
||||
10 |
تزويد المواد الكيميائية |
تخزين الفوتوريسست: مضخة لاصق هوائية * 4 مجموعات (خزان اختياري أو مضخة لاصق كهربائية) |
||
كمية توزيع اللصاق: ما يصل إلى 12 مل لكل جلسة، الدقة ± 0.2 مل |
||||
إزالة الحواف / غسل الخلفية / تزويد RRC: خزان ضغط سعته 18 لتر * 2 (إعادة ملء تلقائية) |
||||
مراقبة مستوى السائل لإزالة الحواف / غسل الخلفية / RRC: مستشعر ضوئي |
||||
مراقبة مستوى سائل الفوتوريسست: مستشعر ضوئي |
||||
تصريف مخلفات اللصاق المتجانس: خزان مخلفات سعته 10 لتر |
||||
تزويد المطور: خزان ضغط سعته 18 لتر * 4 (مُخزن في خزانة المواد الكيميائية خارج الجهاز) |
||||
تزويد المياه الم脱يونية: التزود المباشر من المصنع |
||||
تطوير مراقبة مستوى السائل: مستشعر ضوئي |
||||
تصريف النفايات المطورة: تصريف نفايات المصنع |
||||
تزويد المادة اللاصقة: خزان ضغط 10 لتر * 1، خزان ضغط 2 لتر * 1 |
||||
مراقبة مستوى المادة اللاصقة: مستشعر ضوئي |
||||
11 |
نظام التحكم |
طريقة التحكم: PLC |
||
واجهة تشغيل الإنسان والآلة: شاشة لمس بحجم 17 بوصة |
||||
نظام التزود بالطاقة بدون انقطاع (UPS): نعم |
||||
إعداد أذونات التشفير لأجهزة المشغلين، والفنيين، والإداريين |
||||
نوع برج الإشارة: 3 ألوان (أحمر، أصفر، أخضر) |
||||
12 |
مؤشرات موثوقية النظام |
وقت التشغيل: ≥95% |
||
متوسط الوقت بين الفشل: ≥ 500 ساعة |
||||
متوسط وقت الإصلاح: ≤ 4 ساعات |
||||
MTBA: ≥24 ساعة |
||||
معدل التجزئة: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
وظائف أخرى |
ضوء أصفر: 4 مجموعات (الموقع: فوق وحدة خلط اللُّصاق والتطوير) |
||
THC: نعم، 22.5 ℃ ± 0.5 ℃، 45% ± 2% |
اختياري |
|||
FFU: فئة 100، 5 مجموعات (وحدة العملية ومنطقة ROBOT) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
