التدفئة الكهربائية |
الغرفة (تجويف واحد) |
||||
غير متوفر |
|||||
نوع القطب السفلي |
242mm |
||||
نطاق درجة حرارة العملية |
-20-100°C |
||||
مصدر البلازما |
600 واط - 1000 واط |
||||
مقياس ضغط العملية |
100 مللي تور |
||||
نظام الفراغ |
وحدات المضخة الجزيئية، أنظمة المضخة الجافة، غرفة العملية |
||||
عدد غرف النقش |
غرفة واحدة |
||||
مكابس |
نوع |
الحجم/ملimiter |
المادة |
||
غير متوفر |
8、6、4、3、2 |
||||
كاشف النقطة النهائية |
خيار |
||||
بلازما مُحَفَّزَة بشكل حثي |
خيار |
||||
مادة الحفر |
Si、Sio, Sin،Sau،Pt،Al |
معدل النقش |
>20 نانومتر/دقيقة (مادة SiO2)، وتختلف معدلات المواد المختلفة |
تحكم موزع |
>85° |
طريقة التحميل |
تحميل مفتوح |
خط أنابيب غاز يتم التحكم به بواسطة MFC |
تتوفر ستة خزانات غاز |
خيار التبريد الخلفي بالهيليوم |
نعم |
واجهة تفاعل الإنسان-الآلة |
تشغيل شاشة اللمس |
وضع التشغيل |
الوضع التلقائي بالكامل، الوضع غير التلقائي بالكامل |
اختيار وتهيئة الأجهزة الآلية |
يمكنك اختيار قطع مستوردة أو محلية الصنع |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
جميع الحقوق محفوظة © شركة قوانغتشو ميندر هاي تيك المحدودة
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
