


Wafer grootte |
4”~ 8” wafer |
Waferdikte |
100~750 mikron |
Wafer tipe |
Si, SiC, GaN of ander materiaalle |
Film tipe |
Blou film, UV film Breedte: 230 ~ 300 mm Lengte: 100 m Dikte: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer draagring |
6”, 8” DISCO |
Inlaai- en uitlaaimetode |
Handmatige wafer/draagring plaasings en verwydering |
Filmposisieakkuraatheid |
±0.5mm Standaard 6” en 8” waferplate vir 6” en 8” wafers |
Vakuumpomp |
Minder-Hightech |
Antistatiese beheer |
Deionisasiefan |
Beheer eenheid |
Gebaseer op PLC-beheer, met 'n 10” raakskerm |
Veiligheidsbeskerming |
Ingerig met ligteskermbeveiliging en noodstopknoppie |
Spanningsvoerbron |
Enkelfase AC 220V, 16A |
Samgeperste Lucht |
0.45~0.6MPa, vloedwyse 70L/min |
Masjienhuis |
Wit plastiekgespoten metale kasing |
Volume |
850mm (wydte)*1750mm (diepte)*1970mm (hoogte) |
NET Gewig |
480kg |


Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.